特許

J-GLOBAL ID：201903010901417707

物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体

発明者： 古畑 誠 ,  富山 肇
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-014734
公開番号（公開出願番号）：特開2019-132689
出願日： 2018年01月31日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：

【課題】クアドラチャによる物理量の検出特性の低下を低減することのできる物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】物理量センサーは、可動体と、可動体と対向して配置された検出電極と、を含む。可動体の振動は、Z軸方向の振動とX軸方向の振動とが合成された駆動振動モードを有し、駆動振動モードでは、可動体が基準位置に対してX軸方向マイナス側に位置しかつZ軸方向プラス側に位置する第1状態と、可動体が基準位置に対してX軸方向プラス側に位置しかつZ軸方向マイナス側に位置する第2状態と、が繰り返される。検出電極は、可動体と対向している側の主面に開口し、第2方向での中心に対して第2方向の他方側に位置している第1凹部を有する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

可動体と、 前記可動体と対向して配置されている検出電極と、 を含み、 前記可動体と前記検出電極とが並ぶ方向を第1方向とし、 前記第1方向に直交する方向を第2方向としたとき、 前記可動体の振動は、前記第1方向の振動と前記第2方向の振動とが合成された駆動振動モードを有し、 前記駆動振動モードでは、 前記可動体が基準位置に対して前記第2方向の一方側に位置しかつ前記第1方向の前記検出電極の側とは反対側に位置する第1状態と、 前記可動体が前記基準位置に対して前記第2方向の他方側に位置しかつ前記第1方向の前記検出電極側に位置する第2状態と、 が繰り返され、 前記検出電極は、前記可動体と対向している側の主面に開口し、前記検出電極の前記第2方向での中心に対して前記第2方向の前記他方側に位置している第1凹部を有することを特徴とする物理量センサー。

IPC (1件)：

G01C 19/574

FI (1件)：

G01C19/5747

Fターム (11件)：

2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA05 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB03 ,  2F105BB17 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05