特許
J-GLOBAL ID：201903011350312484
観察方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人平木国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-246439
公開番号（公開出願番号）：特開2019-067774
出願日： 2018年12月28日
公開日（公表日）： 2019年04月25日
要約：
【課題】本発明は、異なるガス空間で発生する試料表面および内部の現象を観察することが可能な観察方法を提供することを課題とする。【解決手段】この課題を解決するため、第1の厚さの第1の部分と、前記第1の厚さよりも厚い第2の厚さの第2の部分と、を有する試料(5)を準備し、前記試料(5)に第1のガス及び第2のガスを噴射し、前記試料(5)の電気計測を行い、前記試料(5)に荷電粒子線(電子線35)を照射する。【選択図】図9C
請求項（抜粋）：
第1の厚さの第1の部分と、前記第1の厚さよりも厚い第2の厚さの第2の部分と、を有する試料を準備し、
前記試料に第1のガス及び第2のガスを噴射し、
前記試料の電気計測を行い、
前記試料に荷電粒子線を照射することを特徴とする観察方法。
IPC (4件)：
H01J 37/20
, H01J 37/26
, G01N 23/04
, G01N 1/28
H01J37/20 F
, H01J37/20 A
, H01J37/26
, G01N23/04
, G01N1/28 G
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001GA06
, 2G001KA08
, 2G001LA02
, 2G001LA11
, 2G001MA04
, 2G052EC03
, 2G052GA34
, 5C001BB03
, 5C001BB07
, 5C001CC03
, 5C033SS02
