特許
J-GLOBAL ID:201903011476490434
磁気抵抗効果素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
棚井 澄雄
, 荒 則彦
, 飯田 雅人
, 荻野 彰広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-094448
公開番号(公開出願番号):特開2019-201095
出願日: 2018年05月16日
公開日(公表日): 2019年11月21日
要約:
【課題】温度変化に対するMR比の変動の少ない磁気抵抗効果素子を提供する。【解決手段】この磁気抵抗効果素子は、第1強磁性層と、第2強磁性層と、前記第1強磁性層及び前記第2強磁性層の間に挟持されたトンネルバリア層と、を備え、前記トンネルバリア層は、スピネル構造の酸化物であり、前記トンネルバリア層は、添加元素として磁性元素を含む。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1強磁性層と、第2強磁性層と、前記第1強磁性層及び前記第2強磁性層の間に挟持されたトンネルバリア層と、を備え、
前記トンネルバリア層は、スピネル構造の酸化物であり、
前記トンネルバリア層は、添加元素として磁性元素を含む、磁気抵抗効果素子。
IPC (5件):
H01L 43/10
, H01L 21/823
, H01L 27/105
, H01L 43/08
, H01L 43/12
FI (4件):
H01L43/10
, H01L27/105 447
, H01L43/08 Z
, H01L43/12
Fターム (43件):
4M119AA10
, 4M119AA17
, 4M119BB01
, 4M119CC05
, 4M119DD03
, 4M119DD17
, 4M119DD22
, 4M119DD24
, 4M119DD25
, 4M119DD26
, 4M119JJ02
, 4M119JJ03
, 4M119JJ07
, 4M119JJ09
, 5F092AA02
, 5F092AA15
, 5F092AB01
, 5F092AB06
, 5F092AC12
, 5F092AD23
, 5F092BB05
, 5F092BB10
, 5F092BB17
, 5F092BB22
, 5F092BB23
, 5F092BB34
, 5F092BB42
, 5F092BB43
, 5F092BB53
, 5F092BB55
, 5F092BC03
, 5F092BC04
, 5F092BC42
, 5F092BE02
, 5F092BE11
, 5F092BE24
, 5F092BE25
, 5F092CA02
, 5F092CA11
, 5F092CA14
, 5F092CA23
, 5F092CA25
, 5F092GA01
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