特許

J-GLOBAL ID：201903011873839494

真空ポンプ

発明者： 鈴木 敏生 ,  田中 智成 ,  橋本 建治
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (4件)： 大森 純一 ,  高橋 満 ,  中村 哲平 ,  日比野 幸信
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-558779
特許番号：特許第6473283号
出願日： 2018年03月14日
要約：

【要約】 本発明の一形態に係る真空ポンプは、ポンプ本体と、消音器とを具備する。上記ポンプ本体は、吸気口と、排気口とを有するハウジングと、上記ハウジングの内部に回転可能に配置され、上記吸気口から上記排気口へ気体を移送するロータとを有する。上記消音器は、筐体と、第1の通路部と、第2の通路部とを有する。上記筐体は、上記ハウジングの外壁面に気密に接続される開口端部と、上記開口端部に対向する底壁部と、周壁部とを有し、上記ハウジングの外壁面と上記底壁部及び上記周壁部各々の内壁面とにより膨張室を区画する。上記第1の通路部は、上記筐体に設けられ、上記排気口から排出された気体を上記膨張室へ導入する。上記第2の通路部は、上記筐体に設けられ、上記膨張室内の気体を上記筐体の外部へ排出する。

請求項（抜粋）：

【請求項1】 吸気口と排気口とを有するハウジングと、一軸方向に平行な軸心をそれぞれ有し前記ハウジングの内部に回転可能に配置され前記吸気口から前記排気口へ気体を移送する一対のスクリューロータとを有するポンプ本体と、 前記ハウジングの外壁面に気密に接続される開口端部と、前記開口端部に対向する底壁部と、周壁部とを有し、前記ハウジングの外壁面と前記底壁部及び前記周壁部各々の内壁面とにより膨張室を区画する筐体と、前記筐体に設けられ前記排気口から排出された気体を前記膨張室へ導入する第1の通路部と、前記筐体に設けられ前記膨張室内の気体を前記筐体の外部へ排出する第2の通路部と、を有する消音器と を具備し、 前記消音器は、前記排気口を開閉可能な弁部材と、前記排気口と前記膨張室との間に設けられ前記弁部材を収容する弁室とをさらに有し、 前記周壁部は、前記膨張室と前記弁室とを区画する第1の側壁部と、前記第1の側壁部と前記一軸方向に対向する第2の側壁部とを有し、 前記第1の通路部は、前記第1の側壁部を貫通し、前記第1の側壁部から前記膨張室の内部に向かって前記一軸方向に延びる第1のパイプ部材で構成され、 前記第2の通路部は、前記第2の側壁部を貫通し、前記第2の側壁部から前記膨張室の内部に向かって前記一軸方向に延びる第2のパイプ部材で構成される 真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04C 29/06 ( 200 6.01) ,  F04C 25/02 ( 200 6.01) ,  F04C 18/16 ( 200 6.01)

FI (3件)：

F04C 29/06 B ,  F04C 25/02 M ,  F04C 18/16 M