特許
J-GLOBAL ID:201903011921885436
固体撮像素子、及び撮像装置
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
新居 広守
, 寺谷 英作
, 道坂 伸一
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2018015784
公開番号(公開出願番号):WO2018-216400
出願日: 2018年04月17日
公開日(公表日): 2018年11月29日
要約:
固体撮像素子(100)は、複数の画素セル(10)が行列状に配置された画素アレイを備え、各画素セル(10)は、アバランシェフォトダイオード(1)と、電荷を蓄電するフローティングディフュージョン部(2)と、アバランシェフォトダイオード(1)のカソードとフローティングディフュージョン部(2)とを接続する転送トランジスタ(3)と、アバランシェフォトダイオード(1)のカソードに集電される電荷をリセットするための第1リセットトランジスタ(4)と、フローティングディフュージョン部(2)に蓄電される電荷をリセットするための第2リセットトランジスタ(5)と、フローティングディフュージョン部(2)に蓄電される電荷の電荷量を電圧に変換するための増幅トランジスタ(6)と、電荷を蓄電するメモリ部(7)と、フローティングディフュージョン部(2)とメモリ部(7)とを接続するカウントトランジスタ(8)とを備える。
請求項(抜粋):
複数の画素セルが行列状に配置された画素アレイを備え、
各画素セルは、
第1のバイアスが印加された状態においてフォトンが入射する場合に、光電変換を引き起こすフォトンの数に略比例する電荷量の電荷をカソードに集電する第1のモードと、前記第1のバイアスよりも電位差の大きい第2のバイアスが印加された状態においてフォトンが入射する場合に、1つのフォトンが光電変換を引き起こすと、飽和電荷量の電荷をカソードに集電する第2のモードとを有するアバランシェフォトダイオードと、
電荷を蓄電するフローティングディフュージョン部と、
前記アバランシェフォトダイオードのカソードと前記フローティングディフュージョン部とを接続する転送トランジスタと、
前記アバランシェフォトダイオードのカソードに集電される電荷をリセットするための第1リセットトランジスタと、
前記フローティングディフュージョン部に蓄電される電荷をリセットするための第2リセットトランジスタと、
前記フローティングディフュージョン部に蓄電される電荷の電荷量を電圧に変換するための増幅トランジスタと、
電荷を蓄電するメモリ部と、
前記フローティングディフュージョン部と前記メモリ部とを接続するカウントトランジスタとを備える
固体撮像素子。
IPC (3件):
H01L 27/146
, H04N 5/369
, H04N 5/374
FI (3件):
H01L27/146 A
, H04N5/369
, H04N5/3745 500
Fターム (16件):
4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA02
, 4M118DD04
, 4M118FA14
, 4M118FA38
, 4M118FA39
, 4M118GA02
, 5C024CX37
, 5C024CX41
, 5C024GX16
, 5C024GX18
, 5C024GY39
, 5C024GY45
, 5C024HX32
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