特許

J-GLOBAL ID：201903012145028966

材料供給装置および蒸着装置

発明者： 関根 元気 ,  三上 瞬 ,  小泉 和彦 ,  山田 新悦 ,  柳沢 伸二 ,  小清水 孝治 ,  樋口 淳
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (4件)： 大森 純一 ,  高橋 満 ,  中村 哲平 ,  日比野 幸信
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-544534
特許番号：特許第6578367号
出願日： 2016年10月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 蒸着室の外部に設置され減圧雰囲気に維持されることが可能な材料供給室と、 前記材料供給室に設置され蒸発材料を溶解する溶解炉と、 前記溶解炉で溶解された前記蒸発材料の溶湯を収容することが可能な少なくとも1つの容器と、 前記溶解炉に取り付けられ、前記溶解炉から前記容器へ前記溶湯を供給する供給ユニットと、 前記供給ユニットから供給され前記容器内で凝固した前記蒸発材料のインゴットを、前記容器とともに前記蒸着室へ搬送することが可能な搬送ユニットと を具備し、 前記供給ユニットは、 前記溶解炉の底部を液密に貫通し外周面に少なくとも一つの凹部を有する軸部材と、前記軸部材をその軸方向に沿って往復移動させる駆動源とを有し、前記軸部材の軸方向に沿った往復移動で所定量の溶湯を前記溶解炉の外部へ排出することが可能に構成された出湯機構と、 前記溶解炉の底部に設けられ、前記溶解炉の外部へ排出された前記所定量の溶湯を前記容器へ誘導するガイド部材と を有する 材料供給装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24 ( 200 6.01)

FI (1件)：

C23C 14/24 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-173767
  
• 蒸着装置及び蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-276051   出願人：株式会社アルバック
• 電子ビーム蒸着用電子銃
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-282495   出願人：東洋通信機株式会社