タンタル酸リチウム結晶における転位評価方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：西和哉 , 宇佐美亜矢
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-013246
公開番号（公開出願番号）：特開2019-131421
出願日： 2018年01月30日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：

【課題】タンタル酸リチウム結晶の育成中に生じた転位を容易かつ迅速に検出しうるタンタル酸リチウム結晶における転位評価方法を提供する。【解決手段】タンタル酸リチウム結晶の育成中に結晶内部に生じた転位をエッチピットの顕微鏡観察により評価する方法において、タンタル酸リチウム結晶から切り出したウエハを鏡面研磨した後、フッ酸:硝酸=1:2の容積比で混合したエッチング液に前記鏡面研磨されたウエハを浸漬し、引き続き、エッチング液を加熱昇温し、78〜82°Cの温度で13〜20分間加熱保持することで、転位に起因するエッチピットを形成させることを特徴とするタンタル酸リチウム結晶の転位評価方法により提供する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

タンタル酸リチウム結晶の育成中に結晶内部に生じた転位をエッチピットの顕微鏡観察により評価する方法において、タンタル酸リチウム結晶から切り出したウエハを鏡面研磨した後、フッ酸:硝酸=1:2の容積比で混合したエッチング液に前記鏡面研磨されたウエハを浸漬し、引き続き、エッチング液を加熱昇温し、78〜82°Cの温度で13〜20分間加熱保持することで、転位に起因するエッチピットを形成させることを特徴とするタンタル酸リチウム結晶の転位評価方法。

IPC (2件)：

C30B 29/30 , C30B 33/10

FI (2件)：

C30B29/30 B , C30B33/10

Fターム (9件)：

4G077AA02 , 4G077AB01 , 4G077BC37 , 4G077CF10 , 4G077FG05 , 4G077GA02 , 4G077GA05 , 4G077HA01 , 4G077HA04

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