特許

J-GLOBAL ID：201903012581389990

化学的耐性ポリマー材料のためのクロム不含エッチング溶液

発明者： キャサリン・ムルツァー
出願人/特許権者： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー
代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-122668
公開番号（公開出願番号）：特開2019-026933
出願日： 2018年06月28日
公開日（公表日）： 2019年02月21日
要約：

【課題】環境に優しいクロム不含エッチング溶液であるアルカリ水溶液により、アクリロニトリルブタジエンスチレンなどの化学的耐性ポリマー材料をエッチングする方法を提供する。【解決手段】a.アクリロニトリルブタジエンスチレン及びアクリロニトリルブタジエンスチレン-ポリカーボネートから選択される1つ以上の有機ポリマーを含む基板を提供することと、b.過酸化水素と、1つ以上の水酸化物イオン源とからなる水性アルカリ性エッチング組成物を提供することと、c.アクリロニトリルブタジエンスチレン及びアクリロニトリルブタジエンスチレン-ポリカーボネートから選択される少なくとも1つ以上の有機ポリマーをエッチングするために、水性アルカリ性エッチング組成物を前記基板に適用することと、を含む、方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

a.アクリロニトリルブタジエンスチレン及びアクリロニトリルブタジエンスチレン-ポリカーボネートから選択される1つ以上の有機ポリマーを含む基板を提供することと、 b.過酸化水素と、1つ以上の水酸化物イオン源とからなる水性アルカリ性エッチング組成物を提供することと、 c.アクリロニトリルブタジエンスチレン及びアクリロニトリルブタジエンスチレン-ポリカーボネートから選択される少なくとも前記1つ以上の有機ポリマーをエッチングするために、水性アルカリ性エッチング組成物を前記基板に適用することと、を含む、方法。

IPC (6件)：

C23C 18/22 ,  C23C 18/16 ,  C23C 18/40 ,  C23C 18/36 ,  C23C 18/48 ,  C23C 18/50

FI (6件)：

C23C18/22 ,  C23C18/16 A ,  C23C18/40 ,  C23C18/36 ,  C23C18/48 ,  C23C18/50

Fターム (18件)：

4K022AA14 ,  4K022AA25 ,  4K022AA32 ,  4K022AA42 ,  4K022BA08 ,  4K022BA14 ,  4K022BA32 ,  4K022CA02 ,  4K022CA06 ,  4K022CA16 ,  4K022CA18 ,  4K022CA20 ,  4K022CA21 ,  4K022CA23 ,  4K022CA24 ,  4K022DA01 ,  4K022DB01 ,  4K022DB19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-277778
  
• 固体有機物表面の酸化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-265559   出願人：栗田工業株式会社, トヨタ自動車株式会社
• 特開平2-277778