特許

J-GLOBAL ID：201903012595424845

基板処理方法、基板処理装置、およびコンピュータプログラム

発明者： 森井 俊樹
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
代理人 (1件)： 特許業務法人あい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-092485
公開番号（公開出願番号）：特開2019-197871
出願日： 2018年05月11日
公開日（公表日）： 2019年11月14日
要約：

【課題】基板処理装置に備えられた全ての処理ユニットを満遍なく使用するとともに、基板処理装置の稼働率を高める。【解決手段】区画最終使用時刻に基づいて複数の処理区画の中から1つの処理区画を選択する。区画最終使用時刻は、同じ処理区画に属する複数の処理ユニットのユニット最終使用時刻または修正ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻である。修正ユニット最終使用時刻は、ユニット最終使用時刻から搬送時間を引いた時刻である。そして、選択された処理区画に属する複数の処理ユニットの中から1つの処理ユニットを選択する。その後、基板が、基板搬送システムによって、ロードポート上のキャリアから、選択された処理ユニットに搬送される。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

ロードポート上のキャリアから基板を処理する複数の処理ユニットまで基板搬送システムに前記基板を搬送させる基板処理装置によって実行される基板処理方法であって、 前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、 前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、 前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻と前記複数の処理ユニットについての前記搬送時間とに基づいて、同じ前記処理ユニットにおいて前記ユニット最終使用時刻から前記搬送時間を引いた時刻を表す修正ユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて計算する修正ユニット最終使用時刻計算ステップと、 前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップで得られた複数の前記修正ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記修正ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、 前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い1つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、 前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から1つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、 前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を含む、基板処理方法。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

H01L21/02 Z ,  H01L21/304 651B ,  H01L21/304 648H

Fターム (10件)：

5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC26 ,  5F157BA31 ,  5F157BB23 ,  5F157CE02 ,  5F157DB47