特許

J-GLOBAL ID：201903012879098123

リニア駆動機構及び形状測定機

発明者： 岡野 貴央
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-017273
公開番号（公開出願番号）：特開2019-132801
出願日： 2018年02月02日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：

【課題】検出器の測定精度の低下を防止可能なリニア駆動機構、及びこのリニア駆動機構を備える形状測定機を提供する。【解決手段】第1軸方向に感度を有する接触式又は非接触式の検出器を、ワークに対して第1軸方向に直交する第2軸方向に相対移動をさせるリニア駆動機構において、第2軸方向に延びた駆動軸と、駆動軸により非接触に支持された可動子であって、且つ検出器又はワークと一体に駆動軸に沿って移動する可動子と、駆動軸に対して第1軸方向及び第2軸方向の双方に直交する第3軸方向にずれた位置に設けられ、且つ駆動軸に平行なガイドと、可動子及びガイドの一方に設けられ、且つ可動子及びガイドの他方と接触しており、可動子の移動に対する抵抗力を発生する抵抗力発生部と、を備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1軸方向に感度を有する接触式又は非接触式の検出器を、ワークに対して前記第1軸方向に直交する第2軸方向に相対移動をさせるリニア駆動機構において、 前記第2軸方向に延びた駆動軸と、 前記駆動軸により非接触に支持された可動子であって、且つ前記検出器又は前記ワークと一体に前記駆動軸に沿って移動する可動子と、 前記駆動軸に対して前記第1軸方向及び前記第2軸方向の双方に直交する第3軸方向にずれた位置に設けられ、且つ前記駆動軸に平行なガイドと、 前記可動子及び前記ガイドの一方に設けられ、且つ前記可動子及び前記ガイドの他方と接触しており、前記可動子の移動に対する抵抗力を発生する抵抗力発生部と、 を備えるリニア駆動機構。

IPC (6件)：

G01B 21/00 ,  G01B 21/20 ,  G01B 5/00 ,  G01B 5/20 ,  H02K 7/102 ,  H02K 41/02

FI (6件)：

G01B21/00 L ,  G01B21/20 C ,  G01B5/00 L ,  G01B5/20 C ,  H02K7/102 ,  H02K41/02 Z

Fターム (58件)：

2F062AA21 ,  2F062AA55 ,  2F062AA57 ,  2F062AA61 ,  2F062AA66 ,  2F062BB07 ,  2F062CC09 ,  2F062DD03 ,  2F062DD13 ,  2F062DD33 ,  2F062EE01 ,  2F062EE09 ,  2F062FF04 ,  2F062FF17 ,  2F062FG07 ,  2F062GG66 ,  2F062HH05 ,  2F062MM06 ,  2F062MM08 ,  2F069AA31 ,  2F069AA55 ,  2F069AA56 ,  2F069AA57 ,  2F069CC05 ,  2F069DD12 ,  2F069EE09 ,  2F069EE11 ,  2F069EE26 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ17 ,  2F069JJ19 ,  2F069MM04 ,  2F069MM13 ,  2F069MM32 ,  2F069RR01 ,  5H607BB11 ,  5H607BB21 ,  5H607BB25 ,  5H607CC03 ,  5H607DD01 ,  5H607DD02 ,  5H607DD05 ,  5H607DD19 ,  5H607EE07 ,  5H607HH01 ,  5H607HH06 ,  5H641BB06 ,  5H641BB14 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG08 ,  5H641GG20 ,  5H641HH02 ,  5H641JA02 ,  5H641JA09