特許
J-GLOBAL ID：201903012906150973
研削砥石の消耗量検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-021815
公開番号（公開出願番号）：特開2017-140656
特許番号：特許第6618822号
出願日： 2016年02月08日
公開日（公表日）： 2017年08月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一方の面に弾性を有する保護部材を貼着した板状の被加工物の他方の面を研削砥石で研削する研削装置における、研削砥石の消耗量検出方法であって、
該研削装置は、
該保護部材を介して該被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した該被加工物の該他方の面を研削する該研削砥石が装着された研削手段と、該研削手段を該保持面に近接・離間させる研削送り手段と、該研削手段の位置を検出する位置検出手段と、該保持面に対する該被加工物上面の高さを測定する第1ゲージと、該被加工物に測定光を照射し該被加工物上面と該保護部材上面からの反射光で該被加工物の厚さを測定する第2ゲージと、を備え、
該第2ゲージで測定した該被加工物が所定の仕上げ厚さになるまで該研削手段で該被加工物を研削した後に、
研削前の該被加工物の上面と該研削砥石の高さが一致する該位置検出手段で検出する該研削手段の高さh1、研削終了時の該研削手段の高さh2、及び該被加工物の研削量Zとから、(h1-h2)-Z=aを求め、
該第1ゲージで測定した研削前の該被加工物の上面高さH1、及び研削後の該被加工物の上面高さH2と、該第2ゲージで測定した研削前の該被加工物の厚さT1、及び該被加工物の仕上げ厚さT2とから、(H1-T1)-(H2-T2)=保護部材の収縮量a1を求め、
a-a1で該研削砥石の消耗量を求める研削砥石の消耗量検出方法。
IPC (3件)：
B24B 49/02 ( 200 6.01)
, B24B 49/12 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
B24B 49/02 Z
, B24B 49/12
, H01L 21/304 631
