特許
J-GLOBAL ID:201903013736547764
弾性波装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2018012964
公開番号(公開出願番号):WO2018-198654
出願日: 2018年03月28日
公開日(公表日): 2018年11月01日
要約:
板波S0モードを利用しており、低損失の弾性波装置を提供する。 支持基板2上に直接的または間接的に設けられた、ニオブ酸リチウムからなる圧電体5と、圧電体5上に直接的または間接的に設けられたIDT電極6とを備え、IDT電極6の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとしたときに、圧電体5の厚みが1λ以下であり、圧電体5において伝搬する板波S0モードを利用しており、前記ニオブ酸リチウムのオイラー角が(0°±10°,θ,90°±10°)であり、但しθが0°以上、180°以下である、弾性波装置1。
請求項(抜粋):
支持基板と、
前記支持基板上に直接的または間接的に設けられた、ニオブ酸リチウムからなる圧電体と、
前記圧電体上に直接的または間接的に設けられたIDT電極と、
を備え、
前記圧電体を伝搬する板波S0モードを利用しており、
前記圧電体の厚みは、前記IDT電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとしたときに、1λ以下であり、
前記ニオブ酸リチウムのオイラー角が(0°±10°,θ,90°±10°)であり、
前記オイラー角のθが0°以上、180°以下の範囲内にある、弾性波装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
5J097AA01
, 5J097AA14
, 5J097DD09
, 5J097GG04
, 5J097KK03
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