管状体内表面検査方法及び管状体内表面検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：亀谷美明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-552088
特許番号：特許第6481216号
出願日： 2018年05月31日
要約：

【課題】管状体の大きさに依らず、管状体の内表面をより高速、高分解能かつ簡便に検査すること。【解決手段】管状体内表面検査方法は、レーザ光源から照射されたレーザ光を管状体の内表面の周方向に環状のレーザ光として反射する光学素子、環状のレーザ光が照射された領域を撮像して環状ビーム画像を生成するエリアカメラ、及び、レーザ光源とエリアカメラを連結して固定する連結部材を有する管状体撮像装置と、環状ビーム画像に対して画像処理を行う演算処理装置とを備える。エリアカメラは、管状体撮像装置を管状体へ送入し送出する間に、エリアカメラの全視野のうち、環状のレーザ光が連結部材によって遮蔽されない領域であって、エリアカメラの全視野のうち、エリアカメラが備える撮像素子の画素情報転送方向に対して直交する方向の端部にそれぞれに設定される端部領域に対応する部分を撮像することで、環状ビーム画像を複数生成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

【請求項1】管状体の内表面に存在する欠陥を検出する管状体内表面検査方法において、レーザ光を照射するレーザ光源、前記レーザ光源から照射されたレーザ光を前記管状体の内表面の周方向に環状のレーザ光として反射する光学素子、前記管状体の内表面の前記環状のレーザ光が照射された領域を撮像して、環状ビーム画像を生成するエリアカメラ、及び、前記レーザ光源と前記エリアカメラを連結して固定する連結部材を有する管状体撮像装置を用い、前記管状体撮像装置を、前記管状体の管軸方向に沿って移動させる移動ステップと、前記管状体撮像装置を前記移動装置で移動させ、前記管状体へ送入される状態から送出される状態へと切り替わる際に、前記連結部材の管軸に直交する面における位置が相違するように、前記管状体撮像装置を前記管状体の周方向に回転する回転ステップと、前記管状体撮像装置を前記管状体へ送入し送出する間に、前記エリアカメラの全視野のうち、前記環状のレーザ光が前記連結部材によって遮蔽されない領域であって、前記エリアカメラの全視野のうち、前記エリアカメラが備える撮像素子において当該撮像素子の各画素の電荷又は電圧に関する情報である画素情報が転送される方向である画素情報転送方向に対して直交する方向の端部にそれぞれに設定される端部領域に対応する部分を撮像することで、前記環状ビーム画像を複数生成する環状ビーム画像生成ステップと、前記管状体撮像装置を前記管状体へ送入し送出する間に、複数生成された前記環状ビーム画像に対して画像処理を行い、前記管状体の内表面に欠陥が存在するかを判断する演算処理ステップと、を有する、管状体内表面検査方法

IPC (2件)：

G01N 21/954 ( 200 6.01) , G01B 11/30 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 21/954 A , G01B 11/30 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

欠陥検出装置及び欠陥検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-179308 出願人：新日鐵住金株式会社
表面疵検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-290659 出願人：新日本製鐵株式会社, 三菱電機株式会社
3次元入力装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-191278 出願人：ミノルタ株式会社

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