特許

J-GLOBAL ID：201903014060154949

角速度取得装置

発明者： 冨澤 泰 ,  山本 悠 ,  池橋 民雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝デバイス&ストレージ株式会社
代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-130106
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004383
特許番号：特許第6562878号
出願日： 2016年06月30日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第1方向、およびコリオリ力に基づく第2方向に振動する可動体であって、前記第2方向に延びる可動電極部を有する可動体と、 前記第2方向に延び、ギャップを隔てて前記可動電極部に対向する固定電極部を有するホールド電極と、 前記固定電極部と前記可動電極部との間に配置され、前記固定電極部の前記可動電極部に対向する面よりも前記可動電極部側に位置する端部をもつストッパと、 を備えた角速度取得装置。

IPC (3件)：

G01C 19/5762 ( 201 2.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01C 19/576 ,  B81B 3/00 ,  H01L 29/84 Z