特許
J-GLOBAL ID：201903014065479986
X線反射型計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
福田 伸一
, 水崎 慎
, 高橋 克宗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-047822
公開番号（公開出願番号）：特開2019-158724
出願日： 2018年03月15日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
要約：
【課題】計測を行うためのスペースを抑制するとともに、セッティング手順を簡易にしながら計測精度を向上させることができるX線反射型計測装置を提供する。【解決手段】X線を照射するX線管1と、X線の反射波を検出する検出器7と、X線管1および検出器7を回転させる回転駆動部と、X線管1から照射されたX線を検出器7へ反射する較正板22と、所定演算を行う制御部とを備え、制御部は、回転駆動部を制御してX線管1および検出器7を計測対象21へ向け、X線管1から計測対象21に照射したX線の反射波を検出器7に検出させるとともに、X線管1および検出器7を較正板22へ向け、X線管1から較正板22に照射したX線の反射波を検出器7に検出させ、計測対象21からの反射波を示す信号と較正板22からの反射波を示す信号とを用いて、計測対象21に関する所定の計測値を演算処理によって求めることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
X線を照射するX線照射部と、
X線の反射波を検出し、該反射波を示す信号を出力するX線検出部と、
前記X線照射部および前記X線検出部を回転させる回転駆動部と、
前記X線照射部および前記X線検出部に対して、所定の距離に配置され、前記X線照射部から照射されたX線を前記X線検出部へ反射する較正板と、
前記X線照射部、および、前記回転駆動部の動作を制御するとともに、前記X線検出部が検出した前記反射波を示す信号を取得し、所定演算を行う制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記回転駆動部を制御して、前記X線照射部および前記X線検出部を計測対象へ向け、前記X線照射部から該計測対象に照射したX線の反射波を前記X線検出部に検出させるとともに、
前記X線照射部および前記X線検出部を前記較正板へ向け、前記X線照射部から該較正板に照射したX線の反射波を前記X線検出部に検出させ、
前記計測対象からの反射波を示す信号と前記較正板からの反射波を示す信号とを用いて、前記計測対象に関する所定の計測値を演算処理によって求める、
ことを特徴とするX線反射型計測装置。
IPC (3件)：
G01N 23/20
, G01N 23/200
, G01B 15/02
G01N23/20 400
, G01N23/20008
, G01B15/02 D
2F067AA27
, 2F067BB01
, 2F067HH04
, 2F067JJ03
, 2F067KK08
, 2F067RR29
, 2G001AA01
, 2G001BA15
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001FA08
, 2G001GA11
, 2G001JA04
, 2G001JA06
, 2G001JA12
, 2G001JA17
, 2G001KA01
, 2G001KA11
, 2G001MA05
, 2G001NA01
