特許

J-GLOBAL ID：201903014201301185

エミッタ材料構成体を用いる測定装置のための光学的構成体

発明者： デイビッド ウィリアム セスコ
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (4件)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  藤田 崇 ,  須藤 修三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-115027
公開番号（公開出願番号）：特開2019-002930
出願日： 2018年06月15日
公開日（公表日）： 2019年01月10日
要約：

【課題】3軸で応答する走査プローブが、座標測定装置で使用するために提供される。【解決手段】走査プローブ300は、フレームと、スタイラス懸架部307と、スタイラス位置検出部と、を備える。スタイラス位置検出部は、スタイラス接続部342に対して固定された位置表示要素に向けて光源光を放射するように動作する光源を備える。位置表示要素は、光源からの光を入力し吸収し、励起光を出力することによって応答するエミッタ材料(例えば、蛍光体)を有する位置表示エミッタを備える。様々な実施形態では、励起光は、軸方向位置感知検出器上に軸方向測定スポットを形成するように、軸方向測定スポット経路に沿った軸方向測定光、及び/又は回転位置感知検出器上に回転測定スポットを形成するように、回転測定スポット経路に沿った回転測定光の少なくとも1つとして向けられる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

座標測定装置のための走査プローブであって、 フレームと、 スタイラスに強固に接続されるように構成されたスタイラス接続部と、 軸方向に沿った前記スタイラス接続部の軸方向運動と回転中心周りの前記スタイラス接続部の回転運動とを可能にするよう構成されたスタイラス移動機構と、 を備える前記フレームに取り付けられたスタイラス懸架部と、 前記フレームに対して固定され、自身の第1の感知軸方向に沿って第1の測定スポットの位置に応答する出力を供給するように構成された第1の光検出器を備え、軸方向位置感知検出器又は回転位置感知検出器のうちの少なくとも1つである第1の位置感知検出器と、 前記フレームに対して固定され、第1の光源光路に沿って第1の波長範囲を含む第1の光源光を放射するように構成された第1の光源と、 前記スタイラス接続部に対して固定され、前記スタイラス接続部と共に移動し、前記第1の光源からの前記第1の波長範囲の光を入力し、エミッタ材料内で生成された前記第1の波長範囲に含まれない第2の波長範囲を含む励起光を出力することにより応答する前記エミッタ材料を備える第1の位置表示エミッタを備える第1の位置表示要素と、 を備えるスタイラス位置検出部と、を備え、 前記第1の位置表示エミッタは、その移動範囲内の前記スタイラス接続部の位置にかかわらず前記第1の光源光路に沿って前記第1の光源光を入力し、前記第1の位置感知検出器上の第1の測定スポットを形成するように、第1の測定スポット経路に沿って第1の測定光として生成された前記励起光を出力するよう構成され、そして、前記第1の位置感知検出器は前記第1の測定スポットに応答して第1の信号を出力し、前記第1の信号は、前記スタイラス接続部の軸方向位置又は回転位置の少なくとも1つを示すことを特徴とする走査プローブ。

IPC (2件)：

G01B 5/012 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B5/012 ,  G01B11/00 A

Fターム (47件)：

2F062AA04 ,  2F062AA61 ,  2F062CC26 ,  2F062DD09 ,  2F062DD11 ,  2F062EE01 ,  2F062EE47 ,  2F062EE62 ,  2F062EE71 ,  2F062FF05 ,  2F062FF28 ,  2F062FG07 ,  2F062GG71 ,  2F062HH07 ,  2F062HH27 ,  2F065AA04 ,  2F065AA19 ,  2F065AA53 ,  2F065BB30 ,  2F065DD02 ,  2F065EE11 ,  2F065EE12 ,  2F065FF09 ,  2F065FF43 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG08 ,  2F065GG09 ,  2F065GG13 ,  2F065GG23 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL59 ,  2F065MM06 ,  2F065NN08 ,  2F065PP04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 測定オブジェクトの形状を触覚光学式に決定するための方法および装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2012-540443   出願人：ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー
• 光学式3次元位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-197848   出願人：株式会社日本メディックス