特許
J-GLOBAL ID：201903014258995086
トレイ保持治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
藤本 英介
, 神田 正義
, 宮尾 明茂
, 馬場 信幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-043371
公開番号（公開出願番号）：特開2019-160934
出願日： 2018年03月09日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
要約：
【課題】粘着シートの変形時に微小物品が粘着シートから跳ね上がったり、傾斜等するのを防ぐことのできるトレイ保持治具を提供する。【解決手段】有底角筒形のトレイ1と、トレイの内部に微小部品11を着脱自在に保持する可撓性の粘着フィルム20とを備え、トレイ1の底部中央の排気孔6からトレイの内底面3と粘着フィルム間の隙間5の空気が外部に排気されることにより、粘着フィルムが凹凸に変形する保持治具である。粘着フィルムの裏面22に、トレイ1の内底面3に対向して粘着フィルムを変形させる凹凸部30が形成され、この凹凸部の十点平均粗さが5μm以上20μm以下の範囲とされており、粘着フィルム20が30μm以上50μm以下の厚さに形成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
略有底筒形のトレイと、このトレイの内部に隙間を介し支持されて1mm以下の大きさの微小物品を着脱自在に保持する可撓性の粘着シートとを備え、トレイに排気孔が設けられ、この排気孔からトレイの底部と粘着シートとの間の隙間の気体が外部に排気されることにより、粘着シートが変形するトレイ保持治具であって、
粘着シートに、トレイの底部に対向して粘着シートを変形させる凹凸部が形成され、この凹凸部の十点平均粗さRzが5μm以上20μm以下の範囲とされており、粘着シートが30μm以上50μm以下の厚さに形成されることを特徴とするトレイ保持治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 U
, B65D85/90 100
3E096AA05
, 3E096BA17
, 3E096BB03
, 3E096CA06
, 3E096CB02
, 3E096DA14
, 3E096EA02X
, 3E096FA09
, 3E096GA13
, 5F131AA04
, 5F131CA09
, 5F131GA05
, 5F131GA23
, 5F131GA33
, 5F131GA42
, 5F131GA53
, 5F131GA68
