特許
J-GLOBAL ID：201903014312864723

ツール内ESD事象監視方法および装置

発明者：
ライル ディー.ネルセン

ライル ディー.ネルセン について

, 
スティーブン ビー.ヘイマン

スティーブン ビー.ヘイマン について

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マーク イー.ホグセット

マーク イー.ホグセット について


出願人/特許権者：
イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド

イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  島田 哲郎 ,  三橋 真二 ,  大橋 康史 ,  伊藤 公一 ,  篠田 拓也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-550807
特許番号：特許第6538566号
出願日： 2013年12月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 帯電デバイスモデル事象シミュレーター(CDMES)ユニットを組み込んだ静電気放電(ESD)事象監視のための装置であって、 プロセスエリアに位置決めされた少なくとも1つのアンテナと、 前記少なくとも1つのアンテナに結合されたESD検出器と、 前記CDMESユニットに無線で結合された前記ESD検出器と、 前記CDMESユニットによって生成された種々の放電エネルギーについて較正された前記ESD検出器とを備え、 前記ESD検出器は、調節可能な閾値電圧レベルを前記少なくとも1つの前記アンテナによって受信されたESD放射パルスの信号振幅と比較し、 前記ESD検出器は、前記ESD放射パルスの信号振幅が前記調節可能な閾値電圧レベルを超える場合に、前記ESD放射パルスのパルス継続時間が、ESD事象の時間間隔の上下境界内にあるか否かを判定し、 前記ESD検出器は、前記ESD放射パルスの前記パルス継続時間が前記ESD事象の時間間隔の上下境界内にある場合に、有効なESDタイプの事象であるEMI(電磁妨害または電磁放出)を示す信号を生成する、帯電デバイスモデル事象シミュレーターユニットが組み込まれており、 前記プロセスエリアは、第1のプロセスエリアおよび第2のプロセスエリアを備え、 前記少なくとも1つのアンテナは、前記ESD検出器に結合された第1のアンテナと、前記ESD検出器に結合された第2のアンテナとを備え、 前記第1のアンテナは前記第1のプロセスエリアに位置決めされ、前記第2のアンテナは前記第2のプロセスエリアに位置決めされている静電気放電事象監視のための装置。
IPC (2件)：
G01R 29/00 ( 200 6.01) ,  G01R 35/00 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01R 29/00 E ,  G01R 35/00 K
引用特許：
審査官引用 (4件)
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