特許
J-GLOBAL ID：201903014382102910
変位検出方式の力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
青木 篤
, 三橋 真二
, 廣瀬 繁樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-101480
公開番号（公開出願番号）：特開2019-207120
出願日： 2018年05月28日
公開日（公表日）： 2019年12月05日
要約：
【課題】外力以外の要因に起因する部材の変形を緩和する機構を備えた、変位検出方式の力センサを提供する。【解決手段】力センサ10は、第1基板部12、第1連結部24、第2基板部14および第2連結部26の少なくとも1つに設けられた、第1軸38と直交する平面に沿って弾性変形可能な第1緩和部62、および、第2基板部14、第2連結部26、第3基板部16および第3連結部28の少なくとも1つに設けられた、第1軸38に沿って弾性変形可能な第2緩和部64、の少なくとも一方を具備する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1基板部と、
前記第1基板部から離隔して配置された第2基板部と、
前記第2基板部から離隔して配置された第3基板部と、
前記第1基板部を位置決めするための第1橋梁部と、
前記第2基板部を位置決めするための第2橋梁部と、
前記第3基板部を位置決めするための第3橋梁部と、
前記第1基板部と前記第1橋梁部とを連結する第1連結部と、
前記第2基板部と前記第2橋梁部とを連結する第2連結部と、
前記第3基板部と前記第3橋梁部とを連結する第3連結部と、
前記第1橋梁部と前記第2橋梁部とを連結する第1支柱部と、
前記第2橋梁部と前記第3橋梁部とを連結する第2支柱部と、
前記第1基板部と前記第2基板部との相対変位を検出する第1検出部と、
前記第2基板部と前記第3基板部との相対変位を検出する第2検出部と、を備える力センサであって、
前記第1基板部および前記第1連結部の少なくとも一方は弾性変形可能に構成され、
前記第2支柱部は弾性変形可能に構成され、
前記第1検出部は、前記第1基板部と前記第2基板部との第1軸に沿った相対的な移動、および、前記第1基板部と前記第2基板部との前記第1軸と直交する平面に沿った中心軸線回りの相対的な回転の少なくとも一方に応じて変化する値を第1検出値として検出し、
前記第2検出部は、前記第2基板部と前記第3基板部との前記第1軸と直交する平面に沿った相対的な移動、および、前記第1軸に沿った中心軸線回りの相対的な回転の少なくとも一方に応じて変化する値を第2検出値として検出し、
前記力センサは、前記第1基板部、前記第1連結部、前記第2基板部および前記第2連結部の少なくとも1つに設けられた、前記第1軸と直交する平面に沿って弾性変形可能な第1緩和部、および、前記第2基板部、前記第2連結部、前記第3基板部および前記第3連結部の少なくとも1つに設けられた、前記第1軸に沿って弾性変形可能な第2緩和部、の少なくとも一方を具備する、力センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2F051AA10
, 2F051AB06
, 2F051AC01
, 2F051DA03
, 2F051DB03
