特許
J-GLOBAL ID：201903014535369074
側面視撮像による試料の高さプロファイルの特性評価
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-142781
公開番号（公開出願番号）：特開2019-035741
出願日： 2018年07月30日
公開日（公表日）： 2019年03月07日
要約：
【課題】単純で、迅速で、対欠陥堅牢性がある、走査型プローブ顕微鏡の操作を可能にする。【解決手段】プローブ11と試料6とを互いに対して動かすことにより試料6を分析するための走査型プローブ顕微鏡1、特に、原子間力顕微鏡であって、試料6の画像を実質的に水平な側面視で検出するように配置および構成されるサイドビューカメラ90を有する検出ユニット60と、検出された画像に基づいて、試料6の表面の少なくとも一部のプロファイルを示す情報を決定するための決定ユニット80とを備える走査型プローブ顕微鏡1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
プローブと試料とを互いに対して動かすことにより前記試料を分析するための走査型プローブ顕微鏡、特に、原子間力顕微鏡であって、
前記試料の画像を実質的に水平な側面視で検出するように配置および構成されるサイドビューカメラを有する検出ユニットと、
検出された前記画像に基づいて、前記試料の表面の少なくとも一部のプロファイルを示す情報を決定するための決定ユニットと
を備える走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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