特許
J-GLOBAL ID：201903014803052666
ガラス基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-130468
公開番号（公開出願番号）：特開2019-021916
出願日： 2018年07月10日
公開日（公表日）： 2019年02月07日
要約：
【課題】高性能化デバイスに対しても十分に適用することが可能な、貫通孔を有するガラス基板。【解決手段】第1の表面から第2の表面まで延在する複数の貫通孔を有するガラス基板において、ランダムに選択した5個の貫通孔を選定貫通孔と称したとき、各選定貫通孔において、第1の表面には第1の開口があり、第2の表面には第2の開口があり、第1の開口の近似円の直径は、第2の開口の近似円の直径よりも大きく、第1の開口は、真円度が5μm以下であり、第1の開口の近似円の中心を第1の中心C1とし、第2の開口の近似円の中心を第2の中心C2とし、第1の中心C1と第2の中心C2の中心間距離をtcとしたとき、当該ガラス基板の厚さをt0として、P=tc/t0 (1)式で表される垂直度Pは、1.00000〜1.00015の範囲である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
相互に対向する第1の表面および第2の表面を有するガラス基板であって、
当該ガラス基板は、第1の表面から第2の表面まで延在する複数の貫通孔を有し、
ランダムに選択した5個の貫通孔を選定貫通孔と称したとき、各選定貫通孔において、
前記第1の表面には第1の開口があり、前記第2の表面には第2の開口があり、前記第1の開口の近似円の直径は、前記第2の開口の近似円の直径よりも大きく、
前記第1の開口は、真円度が5μm以下であり、
前記第1の開口の近似円の中心を第1の中心C1とし、前記第2の開口の近似円の中心を第2の中心C2とし、第1の中心C1と第2の中心C2の中心間距離をtcとしたとき、当該ガラス基板の厚さをt0として、
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5E338AA18
, 5E338BB13
, 5E338BB14
, 5E338EE60
