特許
J-GLOBAL ID：201903015351350687
表面欠陥判定方法および表面欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-154148
公開番号（公開出願番号）：特開2019-032268
出願日： 2017年08月09日
公開日（公表日）： 2019年02月28日
要約：
【課題】 精度のよい被検査物の表面欠陥の判定を効率よく行うことが可能な表面欠陥判定方法および表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 まず、照明と撮像角度との組み合わせを変えた複数の撮像条件により被検査物の表面を撮像して複数の画像を取得する。次に、複数の画像それぞれについて、被検査物の表面上の輝度異常部を検出する。次に、複数の画像それぞれを複数の局所領域に分割し、輝度異常部を含む複数の局所領域を抽出する。次に、輝度異常部を含む複数の局所領域それぞれについて、複数の第1の特徴量を抽出する。次に、第1の特徴量を基に、輝度異常部が欠陥起因の可能性を有するか否かを判定し、被検査物の表面上における欠陥候補を取得する。次に、欠陥候補について、第1の特徴量とは異なる複数の第2の特徴量を抽出し、第2の特徴量を基に、欠陥候補が欠陥か虚報かを判定する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
照明と撮像角度との組み合わせを変えた複数の撮像条件により被検査物の表面を撮像して複数の画像を取得するステップAと、
前記複数の画像それぞれについて、前記被検査物の表面上の輝度異常部を検出して、輝度異常部の有無を判定するステップBと、
前記複数の画像それぞれを複数の局所領域に分割し、前記輝度異常部を含む局所領域を抽出するステップCと、
前記輝度異常部を含む局所領域について、複数の第1の特徴量を抽出するステップDと、
前記第1の特徴量を基に、前記輝度異常部が欠陥起因の可能性を有するか否かを判定するステップEと、
前記ステップEにより、前記被検査物の表面上における欠陥候補を取得するステップFと、
前記欠陥候補について、前記第1の特徴量とは異なる複数の第2の特徴量を抽出するステップGと、
前記第2の特徴量を基に、前記欠陥候補が欠陥か虚報かを判定するステップHと、
を具備し、
前記ステップEの判定には、教師なし学習を用いた判定手法を用い、前記ステップHの判定に、教師あり学習を用いた判定手法を用いることを特徴とする表面欠陥判定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/95 Z
, G01N21/88 Z
2G051AA07
, 2G051AA88
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BB01
, 2G051BC02
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CC09
, 2G051DA08
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EB05
, 2G051EB09
, 2G051ED21
