特許

J-GLOBAL ID：201903015382761537

弾性変形パッド、吸着パッドユニット、真空チャック装置及び工作機械

発明者： ▲高▼田 篤 ,  ▲高▼田 久寿 ,  大橋 恭介
出願人/特許権者： 株式会社ナノテム
代理人 (4件)： 木村 満 ,  小林 悠太 ,  白井 健朗 ,  森川 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-055694
公開番号（公開出願番号）：特開2019-166597
出願日： 2018年03月23日
公開日（公表日）： 2019年10月03日
要約：

【課題】簡単に吸着力の低下を抑制できる弾性変形パッド、吸着パッドユニット、真空チャック装置及び工作機械を提供する。【解決手段】弾性変形パッド60は、複数の気孔が形成されることにより流体を通過させる通気性を有する多孔質パッド21に対して設置対象物の一例であるワークWが設置される側に位置する。弾性変形パッド60は、多孔質パッド21の厚さ方向(Z方向)に沿う筒状に形成され、ワークWが設置される設置面20aに沿って並び、ワークWが弾性変形パッド60を介して多孔質パッド21に吸着される際、ワークWに押されて弾性変形する弾性材料により形成される複数の筒部61を備える。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

複数の気孔が形成されることにより流体を通過させる通気性を有する多孔質パッドに対して設置対象物が設置される側に位置する弾性変形パッドであって、 前記多孔質パッドの厚さ方向に沿う筒状に形成され、前記設置対象物が設置される設置面に沿って並び、前記設置対象物が前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着される際、前記設置対象物に押されて弾性変形する弾性材料により形成される複数の筒部を備える、 弾性変形パッド。

IPC (3件)：

B24B 41/06 ,  H01L 21/683 ,  B23Q 3/08

FI (3件)：

B24B41/06 L ,  H01L21/68 P ,  B23Q3/08 A

Fターム (12件)：

3C016DA01 ,  3C034AA07 ,  3C034BB73 ,  3C034DD20 ,  5F131AA02 ,  5F131BA32 ,  5F131BA43 ,  5F131CA18 ,  5F131EA05 ,  5F131EA22 ,  5F131EB03 ,  5F131EB04