特許

J-GLOBAL ID：201903015905931733

加工装置

発明者： 清水 仁志 ,  松本 頼幸 ,  千野 翔太
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (2件)： 鮫島 睦 ,  吉田 環
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-242391
公開番号（公開出願番号）：特開2018-094601
特許番号：特許第6504151号
出願日： 2016年12月14日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被加工物を載置する加工台と、 前記加工台が配置された加工室を区画する第1カバー筐体と、隙間空間を介して第1カバー筐体を囲む第2カバー筐体とを含む二重構造のカバー部と、 第2カバー筐体と第1カバー筐体を貫通し、前記加工室内に外気を導入する外気導入部と、第1カバー筐体と第2カバー筐体を貫通し、前記加工室内の空気を排気する排気部とを含む集塵機構と、 前記第2カバー筐体に設けられた恒温空気導入口と、を備え、 前記加工室および外気に対して正圧に調整された恒温空気が、前記恒温空気導入口から、第1カバー筐体と第2カバー筐体との前記隙間空間に供給される、加工装置。

IPC (5件)：

B23K 26/12 ( 201 4.01) ,  B23K 26/16 ( 200 6.01) ,  B23Q 11/00 ( 200 6.01) ,  B23Q 11/08 ( 200 6.01) ,  B23Q 11/14 ( 200 6.01)

FI (5件)：

B23K 26/12 ,  B23K 26/16 ,  B23Q 11/00 M ,  B23Q 11/08 Z ,  B23Q 11/14