特許
J-GLOBAL ID：201903016428004350
炭化珪素単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-219235
公開番号（公開出願番号）：特開2019-052085
特許番号：特許第6597873号
出願日： 2018年11月22日
公開日（公表日）： 2019年04月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 流動性指数が70以上100以下の炭化珪素原料を坩堝に充填する工程と、
前記炭化珪素原料を加熱することにより、前記炭化珪素原料を昇華させる工程と、を備え、
150mm以上の直径を有する種結晶が使用される、炭化珪素単結晶の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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