特許

J-GLOBAL ID：201903016702190920

液体供給システム

発明者： 古田 清隆 ,  大澤 芳夫 ,  森 浩一
出願人/特許権者： イーグル工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人秀和特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018003630
公開番号（公開出願番号）：WO2018-143419
出願日： 2018年02月02日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
要約：

予冷に費やす時間を短くし、ポンプを稼働するまでに要する時間を短くすることのできる液体供給システムを提供する。 容器(130)は、第1ポンプ室(P1)及び第2ポンプ室(P2)を通る流路が形成される第1ケース部(131)と、第1ケース部(131)の外壁面を取り囲むように設けられる第2ケース部(132)と、を備えており、第1ケース部(131)と第2ケース部(132)との間の空間(第4空間K4)は、予冷用の超低温液体が流通可能に構成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

内部にポンプ室が備えられ、かつ超低温液体の吸入口及び送出口を有する容器と、 前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、 前記軸部材の往復移動に伴って伸縮するベローズと、 前記ベローズの外周面を囲む空間により形成されるポンプ室と、を備える液体供給システムであって、 前記容器は、 前記ポンプ室を通る流路が形成される第1ケース部と、 第1ケース部の外壁面を取り囲むように設けられる第2ケース部と、を備えており、 前記第1ケース部と前記第2ケース部との間の空間は、予冷用の超低温液体が流通可能に構成されていることを特徴とする液体供給システム。

IPC (1件)：

F04B 15/08

FI (1件)：

F04B15/08

Fターム (8件)：

3H075AA15 ,  3H075BB04 ,  3H075BB30 ,  3H075CC14 ,  3H075DA02 ,  3H075DA05 ,  3H075DA11 ,  3H075DA30