特許
J-GLOBAL ID：201903016777352772

真空プロセス・チャンバの構成部品及び製造方法

発明者：
パルケ ヴィジャイ ディー

パルケ ヴィジャイ ディー について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (9件)： 田中 伸一郎 ,  弟子丸 健 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  近藤 直樹 ,  那須 威夫 ,  岩崎 吉信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-194809
公開番号（公開出願番号）：特開2019-016813
出願日： 2018年10月16日
公開日（公表日）： 2019年01月31日
要約：
【課題】真空プロセス・チャンバの構成部品及びその製造方法を提供する。【解決手段】それらの間にOリングを有し、互いにはんだ接合された2つの別個の部分を含む真空プロセス・チャンバの構成部品が説明される。それらの間に少なくとも1つのOリングを有し、はんだ接合部により接合された、セラミック製静電パック及び金属製ベースプレートを含む静電チャックとすることができる構成部品が説明される。真空プロセス・チャンバの構成部品を作製及び使用する方法も説明される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空プロセス・チャンバ内で用いるための構成部品であって、 第1の部分と、 第2の部分と、 前記第1の部分と前記第2の部分との間で圧縮され、前記構成部品の外側半径方向部分及び内側半径方向部分を定める、少なくとも1つのOリングと、 前記第1の部分を前記第2の部分に接合して前記第1の部分と前記第2の部分との間に気密シールをもたらし、その結果、前記外側部分及び前記内側部分のうちの一方が真空下にあり、前記外側部分及び前記内側部分のうちの他方が大気圧下にあるとき、前記気密シールが前記外側部分と前記内側部分との間の漏れを防止する、はんだ接合部と、 を含むことを特徴とする構成部品。
IPC (5件)：
H01L 21/683 ,  F16J 15/10 ,  C04B 37/02 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/458
FI (5件)：
H01L21/68 R ,  F16J15/10 C ,  C04B37/02 B ,  C23C14/50 A ,  C23C16/458
Fターム (47件)：
3J040AA17 ,  3J040BA02 ,  3J040EA16 ,  3J040FA06 ,  4G026BA01 ,  4G026BB21 ,  4G026BF31 ,  4G026BF36 ,  4G026BG04 ,  4G026BH13 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BD01 ,  4K029JA01 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA02 ,  4K030JA03 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA13 ,  5F131AA23 ,  5F131AA32 ,  5F131BA03 ,  5F131BA04 ,  5F131BA19 ,  5F131BA37 ,  5F131CA68 ,  5F131CA70 ,  5F131DA02 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EA03 ,  5F131EB11 ,  5F131EB17 ,  5F131EB18 ,  5F131EB22 ,  5F131EB54 ,  5F131EB72 ,  5F131EB78 ,  5F131EB84 ,  5F131JA12 ,  5F131JA33 ,  5F131KA23 ,  5F131KA54
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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