特許
J-GLOBAL ID：201903016810472436
監視装置および真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-086146
公開番号（公開出願番号）：特開2017-194040
特許番号：特許第6583122号
出願日： 2016年04月22日
公開日（公表日）： 2017年10月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ロータをポンプベース部に設けられたステータに対して回転駆動するモータと、
前記ポンプベース部を加熱する加熱部と、
前記ポンプベース部の温度を検出するベース温度検出部と、
前記ロータの温度に相当する物理量である温度相当量を検出するロータ温度検出部と、
前記ロータ温度検出部の検出値が所定目標値範囲内となるように、前記加熱部による前記ポンプベース部の加熱を制御する加熱制御部とを備える真空ポンプの、監視装置であって、
前記ベース温度検出部により経時的に検出された複数の温度に基づいて、前記ポンプベース部の温度が所定温度以下となるメンテナンス時期を推定する推定部と、
推定された前記メンテナンス時期に基づくメンテナンス情報を出力する出力部とを備える、監視装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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