特許
J-GLOBAL ID：201903016838181690

高解像プリンティングが可能な汎用有機蒸気ジェットデポジタ、及びOVJPプリンティングのための方法

発明者：
シン・シュー

シン・シュー について

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グレゴリー・マグロウ

グレゴリー・マグロウ について

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ウィリアム・イー・クイン

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出願人/特許権者：
ユニバーサル ディスプレイ コーポレイション

ユニバーサル ディスプレイ コーポレイション について


代理人 (4件)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子 ,  山下 武志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-099259
公開番号（公開出願番号）：特開2019-023344
出願日： 2018年05月24日
公開日（公表日）： 2019年02月14日
要約：
【課題】線幅及びオーバースプレーを制限することができる有機蒸気ジェットプリンティング(OVJP)デポジタの提供。【解決手段】搬送ガスは、中央搬送アパチャ601を通って噴出され、1対の排出アパチャ602によって囲まれる。搬送アパチャ601及び排出アパチャ602は、各アパチャの少なくとも一部分を重ねる直線となるように合わせられている。2つ以上の閉じ込めガスアパチャ604は、プリント方向603に対して搬送アパチャのいずれかの側方側に位置される有機蒸気ジェットプリンティング(OVJP)デポジタ。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
基板上に堆積される有機材料のソース及びキャリアガスと流体連通している搬送アパチャと; 前記搬送アパチャの前方に配置されている第1の排出アパチャと; 前記搬送アパチャの後方に配置されている第2の排出アパチャと; 前記搬送アパチャの側方向に隣接して配置されている第1の閉じ込めガスアパチャと; 前記第1の閉じ込めガスアパチャに対して、前記搬送アパチャの側方向に隣接し、前記第1の閉じ込めガスアパチャの反対に配置されている第2の閉じ込めガスアパチャと、 を含むことを特徴とする有機蒸気ジェットプリンティング(OVJP)デポジタ。
IPC (6件)：
C23C 14/24 ,  G09F 9/30 ,  G09F 9/00 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10 ,  C23C 14/04
FI (6件)：
C23C14/24 A ,  G09F9/30 365 ,  G09F9/00 338 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10 ,  C23C14/04 Z
Fターム (26件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB02 ,  3K107BB03 ,  3K107BB06 ,  3K107BB08 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG34 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DA02 ,  4K029DA06 ,  4K029DB12 ,  5C094AA55 ,  5C094BA27 ,  5C094FB01 ,  5C094GB10 ,  5C094HA08 ,  5G435AA06 ,  5G435BB05 ,  5G435KK10 ,  5G435LL08
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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