特許
J-GLOBAL ID：201903017321788877
圧力式流量制御装置、その流量算出方法および流量制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
谷田 龍一
, 杉本 丈夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-163883
公開番号（公開出願番号）：特開2018-031666
特許番号：特許第6600854号
出願日： 2016年08月24日
公開日（公表日）： 2018年03月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 オリフィスの上流側圧力P1を下流側圧力P2の約2倍以上に保持した状態で前記オリフィスを通過する混合ガスの流量Qを、フローファクターFFから算出する圧力式流量制御装置であって、
前記混合ガスは第1ガス及び第2ガスからなり、前記第1ガスと前記第2ガスとの混合比は第1ガス:第2ガス=X:(1-X)となり、
前記混合ガスの平均密度ρAV、平均比熱比κAV及び平均気体定数RAVを、
前記第1ガスの密度ρ(A)、前記第2ガスの密度ρ(B)、前記第1ガスの比熱比κ(A)、前記第2ガスの比熱比κ(B)、前記第1ガスの気体定数R(A)、及び前記第2ガスの気体定数R(B)を用いて、
ρAV=X・ρ(A)+(1-X)・ρ(B)、
κAV=X・κ(A)+(1-X)・κ(B)、及び、
RAV=X・R(A)+(1-X)・R(B)により計算する第1演算手段と、
kを定数とし、前記平均密度ρAV、前記平均比熱比κAV及び前記平均気体定数RAVを用いて、前記混合ガスのフローファクターFFを、
FF=(k/ρAV){2/(κAV+1)}1/(κAV-1)[κAV/{(κAV+1)RAV}]1/2
により算出する第2演算手段と、
前記混合ガスのフローファクターFFを用いて、前記オリフィスから出力される前記混合ガスの流量Qを、Q=FF・S・P1(1/T1)1/2(ただし、オリフィス断面積S、前記オリフィスの上流側のガスの温度T1)により算出する第3演算手段と
を備える、圧力式流量制御装置。
IPC (2件)：
G01F 1/50 ( 200 6.01)
, G05D 7/06 ( 200 6.01)
