特許

J-GLOBAL ID：201903017456456483

容量性微小電気機械加速度計

発明者： マッティ・リウック ,  ヴィッレ-ペッカ・リュトゥコネン
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (2件)： 吉川 修一 ,  傍島 正朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-080032
公開番号（公開出願番号）：特開2019-023614
出願日： 2018年04月18日
公開日（公表日）： 2019年02月14日
要約：

【課題】自己検査が可能な微小機械加速度計を提供する。【解決手段】ロータは、ロータバー13、14、15で構成されるシーソーフレームであり、縦方向のロータバー14、15は、一以上の第1のたわみ電極を含み、第2のたわみ電極は、一以上の第1のたわみ電極の上方および/または下方の内部パッケージ平面においてそれらが重なるように固定される。加速度計は、少なくとも1つの第1のたわみ電極および少なくとも1つの第2のたわみ電極に試験電圧を印加することによって自己検査を実施するように構成され得る。自己検査の応答信号は、ロータ電極指131とステータ電極指171との間の静電容量測定によって読み取ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

横方向および縦方向に延在し、前記横方向が前記縦方向に垂直である基板平面を画定する基板と、 前記基板平面に垂直な垂直軸方向の加速度を測定するための第1のセンサと、 前記基板平面に隣接し、かつ、前記基板平面に平行な少なくとも1つの内部パッケージ平面を有する加速度計パッケージと、 を備え、 前記第1のセンサは、前記基板に対して可動なロータと、ロータ吊具と、前記基板に対して不動の一以上のステータと、を含み、 前記ロータは、差動容量測定のための一以上のロータ電極を含み、前記一以上のステータは、差動容量測定のための一以上のステータ電極を含み、 前記ロータ吊具は、前記ロータに取り付けられた一以上の横方向ねじりバネを含み、当該ねじりバネは、横方向のロータ回転軸上に配置される、容量性微小機械加速度計であって、 前記ロータは、少なくとも横方向ロータバーと、前記横方向ロータバーに取り付けられた第1の縦方向ロータバーと、前記横方向ロータバーに取り付けられた第2の縦方向ロータバーと、を含むシーソーフレームであり、 少なくとも1つの縦方向ロータバーは、一以上の第1のたわみ電極を含み、第2のたわみ電極は、前記一以上の第1のたわみ電極のそれぞれの上方および/または下方の前記内部パッケージ平面に固定され、前記一以上の第1のたわみ電極は、それぞれ、対応する前記第2のたわみ電極の基板平面における投影との重複領域において重なる、 容量性微小機械加速度計。

IPC (3件)：

G01P 21/00 ,  G01P 15/08 ,  G01P 15/125

FI (3件)：

G01P21/00 ,  G01P15/08 101B ,  G01P15/125 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 三軸加速度計
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2008-520454   出願人：キオニクス,インコーポレイテッド
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-025572   出願人：三菱電機株式会社
• 加速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-193877   出願人：株式会社日立製作所
• 特許第7210352号