特許
J-GLOBAL ID：201903017516861471
センサー素子、センサーデバイス、力検出装置、およびロボット
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
渡辺 和昭
, 磯部 光宏
, 仲井 智至
, 松岡 宏紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-061415
公開番号（公開出願番号）：特開2019-174234
出願日： 2018年03月28日
公開日（公表日）： 2019年10月10日
要約：
【課題】優れた力検出特性を発揮することのできるセンサー素子、センサーデバイス、力検出装置、およびロボットを提供する。【解決手段】センサー素子3は、第1基準電位側面端子391が、第1圧電素子31と第2圧電素子32が積層される方向からの平面視で、第1信号側面端子394の位置と、第2信号側面端子392の位置とを通る第1軸L3より一方側の側面3c,3fにおいて、第1信号側面端子394と、第2信号側面端子392との間に位置し、第2基準電位側面端子393が、第1軸L3より他方側の側面3d,3eにおいて、第1信号側面端子394と、第2信号側面端子392との間に位置している。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
複数の基準電位電極と、
第1圧電素子と、
前記複数の基準電位電極のうちの少なくとも1つとの間に前記第1圧電素子を挟む位置に配置され、前記第1圧電素子の信号を取り出す第1信号電極と、
第2圧電素子と、
前記複数の基準電位電極のうちの少なくとも1つとの間に前記第2圧電素子を挟む位置に配置され、前記第2圧電素子の信号を取り出す第2信号電極と、
が積層され、周囲に側面を有する積層体と、
前記側面に配置され、前記第1信号電極に電気的に接続されている第1信号側面端子と、
前記側面に配置され、前記第2信号電極に電気的に接続されている第2信号側面端子と、
前記側面に配置され、前記基準電位電極の少なくとも1つに電気的に接続されている第1基準電位側面端子と、
前記側面に配置され、前記基準電位電極の少なくとも1つに電気的に接続されている第2基準電位側面端子と、
を含み、
前記第1基準電位側面端子は、前記積層される方向からの平面視で、前記第1信号側面端子の位置と、前記第2信号側面端子の位置とを通る第1軸より一方側の前記側面において、前記第1信号側面端子と、前記第2信号側面端子との間に位置し、
前記第2基準電位側面端子は、前記第1軸より他方側の前記側面において、前記第1信号側面端子と、前記第2信号側面端子との間に位置していることを特徴とするセンサー素子。
IPC (5件)：
G01L 1/16
, H01L 41/113
, H01L 41/083
, H01L 41/04
, B25J 19/02
G01L1/16 B
, G01L1/16 G
, G01L1/16 C
, H01L41/113
, H01L41/083
, H01L41/04
, B25J19/02
3C707KS33
, 3C707KW03
, 3C707KX06
, 3C707MT04
