特許

J-GLOBAL ID：201903017632451396

フレキシブル配管および温度制御システム

発明者： 大槻 興平 ,  三ツ森 章祥 ,  鎌田 紘司
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-012696
公開番号（公開出願番号）：特開2019-132296
出願日： 2018年01月29日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：

【課題】温度制御システムの消費エネルギーを低減する。【解決手段】フレキシブル配管13は、金属製のベローズ管130と、内管131とを備える。内管131は、ベローズ管130の内側に配置され、流体が流れる内側の表面が滑らかである。流体が流れる内管131の内側の面は、編組体の表面よりも滑らかであってもよい。また、内管131は、例えば導電性の材料により構成されてもよい。また、流体が流れる内管131の内側は、導電性の塗膜によりコーティングされてもよい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

金属製のベローズ管と、 前記ベローズ管の内側に配置され、流体が流れる内側の表面が滑らかである可撓性チューブと を備えることを特徴とするフレキシブル配管。

IPC (4件)：

F16L 11/15 ,  F16L 11/127 ,  F16L 27/12 ,  F16L 55/00

FI (4件)：

F16L11/15 ,  F16L11/127 ,  F16L27/12 A ,  F16L55/00 F

Fターム (11件)：

3H104JA07 ,  3H104JC10 ,  3H104LB04 ,  3H104LB16 ,  3H104LB38 ,  3H111AA02 ,  3H111BA03 ,  3H111CA43 ,  3H111CB22 ,  3H111DA02 ,  3H111DB27

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 可撓管装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-072203   出願人：国産ラセン管株式会社
• 加熱部、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-175856   出願人：株式会社日立国際電気, 株式会社東京技術研究所