特許

J-GLOBAL ID：201903017816823164

電子線照射装置

発明者： 坂井 一郎 ,  大工 博之 ,  寺坂 洋平
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人森本国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-014225
公開番号（公開出願番号）：特開2019-133812
出願日： 2018年01月31日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：

【課題】絶縁端子に形成された周溝での放電を十分に抑え得る電子線照射装置を提供する。【解決手段】内部が真空雰囲気の真空チャンバ2と、この真空チャンバ2の内部に配置された絶縁端子3と、この絶縁端子3に保持された電子銃5と、窓10が設けられるとともに電子銃5から出射される電子線Eを案内して当該窓10から照射するノズル8とを備え、絶縁端子3の電子銃5に対向する面に円周溝31が形成された電子線照射装置1である。円周溝31は、内壁面および外壁面と、これら内壁面および外壁面を接続する底面とから構成される。電子線照射装置1は、円周溝31の面(内壁面、底面および外壁面)と電子銃5とに接触して、電子銃5を付勢する導電性のコイルばね6を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

内部が真空雰囲気の真空チャンバと、この真空チャンバの内部に配置された絶縁端子と、この絶縁端子に保持された電子銃と、窓が設けられるとともに電子銃から出射される電子線を案内して当該窓から照射するノズルとを備え、上記絶縁端子の電子銃に対向する面に周溝が形成された電子線照射装置であって、 上記周溝が、内壁面および外壁面と、これら内壁面および外壁面を接続する底面とから構成され、 上記内壁面、底面および外壁面と電子銃とに接触して、当該電子銃を付勢する導電性のコイルばねを備えることを特徴とする電子線照射装置。

IPC (3件)：

H01J 37/06 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/065

FI (3件)：

H01J37/06 Z ,  G21K5/04 E ,  H01J37/065

Fターム (3件)：

5C030BB07 ,  5C030BB12 ,  5C030BB17