特許
J-GLOBAL ID：201903017861945467
ボール搭載装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
めぶき国際特許業務法人
, 松尾 誠剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-029693
公開番号（公開出願番号）：特開2019-145707
出願日： 2018年02月22日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
要約：
【課題】導電性ボールを極薄いワークに搭載することが可能なボール搭載装置を提供する。【解決手段】伸縮性を有するテープ9が貼着された搬送用リング8の内側に配置され、テープ9の表面側に仮貼着されているワークであるウエハ10にフラックスFを印刷するフラックス印刷装置11と、フラックスFが印刷されたウエハ10に導電性ボール3を振り込むボール振込装置12を有する。テープ9を介してウエハ10を吸着ステージ52に真空吸着し、搬送用リング8をクランプステージ49とクランプリング50とによって挟持したうえで、ウエハ10の上面10aが搬送用リング8の上面8cに対して同じ高さになるまでテープ9を引き伸ばしながら搬送用リング8を引き下げ、フラックス印刷及びボール振込を行うボール搭載装置1。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
伸縮性を有するテープが貼着された搬送用リングの径方向内側に配置され、前記テープの貼着面側に仮貼着されたワークに導電性ボールを搭載するボール搭載装置であって、
フラックス印刷用マスクのマスク開口部から前記ワークにフラックスを印刷するフラックス印刷装置と、
前記フラックスが印刷された前記ワーク上に、ボール振込用マスクのボール振込用孔から前記導電性ボールを振り込むボール振込装置と、
前記テープを介して前記ワークを真空吸着する吸着ステージと、前記搬送用リングを厚み方向で挟持するクランプステージ及びクランプリングと、前記ワークの上面と前記搬送用リングの上面とが同じ高さになるまで前記テープを引き伸ばしながら前記搬送用リングを引き下げるクランプユニット上下駆動アクチェータと、を有するクランプユニットと、
を有している、
ことを特徴とするボール搭載装置。
IPC (4件)：
H01L 21/60
, H05K 3/34
, B23K 3/06
, B23K 3/00
H01L21/92 604H
, H05K3/34 505F
, H05K3/34 505E
, H05K3/34 505A
, H01L21/92 604Z
, B23K3/06 H
, B23K3/00 R
5E319AA03
, 5E319AA07
, 5E319AB05
, 5E319AC01
, 5E319BB04
, 5E319BB20
, 5E319CC33
, 5E319GG20
