特許

J-GLOBAL ID：201903017923388470

半導体装置の製造方法

発明者： 八田 浩一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016068981
公開番号（公開出願番号）：WO2017-163438
出願日： 2016年06月27日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：

本実施形態の半導体装置の製造方法は、フィン状に隆起したソース及びドレインがゲートにより覆われた構造を有するトランジスタの前記ゲートの表面の少なくとも一部を覆うように第1の絶縁膜を形成する第1の絶縁膜形成工程と、前記第1の絶縁膜の上に、犠牲膜を形成する犠牲膜形成工程と、前記犠牲膜の上に、所望のパターンを有するハードマスク膜を形成するハードマスクパターン形成工程と、前記ハードマスク膜をエッチングマスクとして前記犠牲膜の一部を除去することにより、第1の開口を形成する第1の開口形成工程と、前記第1の開口に前記第1の絶縁膜とは材料の異なる第2の絶縁膜を形成する第2の絶縁膜形成工程と、前記第2の絶縁膜形成工程の後、前記犠牲膜を除去することにより、少なくとも前記ソースの一部又は前記ドレインと配線層とを電気的に接続する位置に第2の開口を形成する第2の開口形成工程と、前記第2の開口にコンタクトプラグを形成するコンタクトプラグ形成工程と、を有する。

請求項（抜粋）：

フィン状に隆起したソース及びドレインがゲートにより覆われた構造を有するトランジスタの前記ゲートの表面の少なくとも一部を覆うように第1の絶縁膜を形成する第1の絶縁膜形成工程と、 前記第1の絶縁膜の上に、犠牲膜を形成する犠牲膜形成工程と、 前記犠牲膜の上に、所望のパターンを有するハードマスク膜を形成するハードマスクパターン形成工程と、 前記ハードマスク膜をエッチングマスクとして前記犠牲膜の一部を除去することにより、第1の開口を形成する第1の開口形成工程と、 前記第1の開口に前記第1の絶縁膜とは材料の異なる第2の絶縁膜を形成する第2の絶縁膜形成工程と、 前記第2の絶縁膜形成工程の後、前記犠牲膜を除去することにより、少なくとも前記ソースの一部又は前記ドレインと配線層とを電気的に接続する位置に第2の開口を形成する第2の開口形成工程と、 前記第2の開口にコンタクトプラグを形成するコンタクトプラグ形成工程と、 を有する半導体装置の製造方法。

IPC (8件)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/306

FI (7件)：

H01L29/78 301Y ,  H01L29/78 301X ,  H01L27/088 D ,  H01L29/50 M ,  H01L21/28 L ,  H01L21/90 C ,  H01L21/302 105A

Fターム (94件)：

4M104BB01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB18 ,  4M104BB30 ,  4M104CC01 ,  4M104DD03 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD11 ,  4M104DD15 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD62 ,  4M104DD64 ,  4M104DD65 ,  4M104DD72 ,  4M104FF13 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104GG08 ,  4M104GG09 ,  4M104GG14 ,  4M104HH11 ,  4M104HH12 ,  4M104HH14 ,  5F004AA09 ,  5F004DA00 ,  5F004DB00 ,  5F004DB01 ,  5F004DB30 ,  5F004EA03 ,  5F004EA05 ,  5F004EA06 ,  5F004EA07 ,  5F004EA10 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK03 ,  5F033MM05 ,  5F033MM15 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ21 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR23 ,  5F033SS07 ,  5F033SS11 ,  5F033SS21 ,  5F033TT02 ,  5F033TT04 ,  5F033UU03 ,  5F033VV06 ,  5F033XX03 ,  5F033XX31 ,  5F048AC01 ,  5F048BD06 ,  5F048BF03 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F140AA24 ,  5F140AA26 ,  5F140BB05 ,  5F140BJ04 ,  5F140BJ05 ,  5F140BJ10 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ14 ,  5F140BJ15 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK25 ,  5F140BK26 ,  5F140BK27 ,  5F140BK39 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CC12 ,  5F140CC16 ,  5F140CE05 ,  5F140CE06 ,  5F140CE07 ,  5F140CE13