特許

J-GLOBAL ID：201903018344252717

圧力センサとその製造方法

発明者： 古小高 誠
出願人/特許権者： 日本電産コパル電子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人スズエ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-056806
公開番号（公開出願番号）：特開2019-132818
出願日： 2018年03月23日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：

【課題】 ダイアフラムの変形を防止することが可能な圧力センサとその製造方法を提供する。【解決手段】 ベース材11には、センサ素子が設けられる。前記ベース材に設けられ、ハウジング15は、開口部15aを有する。ダイアフラム16は、ハウジング15の開口部15aを覆う。絶縁性の液体18は、ハウジング15の内部に充填される。ダイアフラム16は、ハウジング15に接合される接合部16aと、接合部16aの内側で、接合部16aの厚みより薄い本体部16bを具備する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

センサ素子が設けられるベース材と、 前記ベース材に設けられ、開口部を有するハウジングと、 前記ハウジングの前記開口部を覆うダイアフラムと、 前記ハウジングの内部に充填された絶縁性の液体と、 を具備し、 前記ダイアフラムは、前記ハウジングに接合される接合部と、前記接合部の内側で、前記接合部の厚みより薄い本体部と、 を具備する圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 13/02 ,  G01L 9/00 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

G01L13/02 B ,  G01L9/00 303P ,  H01L29/84 B ,  H01L29/84 A

Fターム (30件)：

2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055BB03 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055EE15 ,  2F055FF11 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  2F055GG15 ,  2F055GG22 ,  2F055GG25 ,  2F055HH03 ,  2F055HH05 ,  2F055HH08 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA08 ,  4M112CA12 ,  4M112CA13 ,  4M112CA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01