ウエハ加工用テープ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松下亮 , 橋本多香子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-150049
公開番号（公開出願番号）：特開2018-207117
出願日： 2018年08月09日
公開日（公表日）： 2018年12月27日
要約：

【課題】接着剤層への転写痕の発生を十分に抑制することができるウエハ加工用テープを提供する。【解決手段】離型フィルムと、離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、接着剤層を覆い、接着剤層の周囲で離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部及びラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含み、接着剤層は、接着剤層表面と接着剤層表面から離型フィルムに延びる接着剤層側縁部とを有し、接着剤層側縁部は、接着剤層表面と接着剤層側縁部との間の角度が鈍角であり、離型フィルムに対して傾斜するように形成され、離型フィルムに対する角度が80度以上84度以下に形成される。あるいは、接着剤層は、接着剤層表面と、接着剤層表面から前記離型フィルムになめらかに湾曲して延びる接着剤層側縁部とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

離型フィルムと、前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部、及び、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含むウエハ加工用テープであって、前記接着剤層は、接着剤層表面と、前記接着剤層表面から前記離型フィルムに延びる接着剤層側縁部とを有し、前記接着剤層側縁部は、前記接着剤層表面と前記接着剤層側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成され、且つ、前記離型フィルムに対する角度が80度以上84度以下に形成されることを特徴とするウエハ加工用テープ。

IPC (3件)：

H01L 21/301 , C09J 7/38 , C09J 201/00

FI (3件)：

H01L21/78 M , C09J7/38 , C09J201/00

Fターム (39件)：

4J004AA01 , 4J004AA10 , 4J004AA13 , 4J004AB01 , 4J004AB07 , 4J004CA04 , 4J004CB03 , 4J004CC02 , 4J004CE01 , 4J004CE03 , 4J004EA01 , 4J004EA06 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J040DF041 , 4J040DF061 , 4J040EC071 , 4J040FA131 , 4J040JA09 , 4J040JB02 , 4J040JB07 , 4J040JB09 , 4J040MA02 , 4J040MB05 , 4J040NA19 , 4J040PA23 , 4J040PA42 , 5F063AA05 , 5F063AA18 , 5F063AA43 , 5F063EE07 , 5F063EE13 , 5F063EE14 , 5F063EE16 , 5F063EE18 , 5F063EE31 , 5F063EE43 , 5F063EE44 , 5F063EE58

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