タングステン酸化物の処理方法及び六フッ化タングステンの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-152165
公開番号（公開出願番号）：特開2019-044264
出願日： 2018年08月13日
公開日（公表日）： 2019年03月22日
要約：

【課題】反応温度が500°C未満で、かつ反応によって酸素及び水を生成させることなく、金属タングステンに対して選択的にタングステン酸化物を蒸気圧の高い物質へ変換する方法を提供する。【解決手段】六フッ化タングステンは金属タングステンとほとんど反応しないが、本発明の方法では、タングステン酸化物を六フッ化タングステンに接触させて、反応式(7)に示す反応などにより、蒸気圧の高いタングステン酸フッ化物に転化する。WO3+2WF6→3WOF4 ...反応式(7)【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一般式WOx(0<x≦3)で表されるタングステン酸化物を、温度0°C以上500°C未満で六フッ化タングステンと接触させて、化学反応によって一般式WOyF6-2y(0<y<3)で表されるタングステン酸フッ化物へ変換することを特徴とするタングステン酸化物の処理方法。

IPC (3件)：

C23G 5/00 , C01G 41/04 , C23F 15/00

FI (3件)：

C23G5/00 , C01G41/04 , C23F15/00

Fターム (20件)：

4G048AA06 , 4G048AB01 , 4K053PA09 , 4K053PA13 , 4K053PA17 , 4K053QA01 , 4K053RA02 , 4K053RA25 , 4K053SA01 , 4K053XA11 , 4K053YA02 , 4K053YA04 , 4K053YA27 , 4K053ZA10 , 4K062AA10 , 4K062BA09 , 4K062CA08 , 4K062EA20 , 4K062FA16 , 4K062GA10

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