特許

J-GLOBAL ID：201903018994533532

銅または銅合金表面用の表面処理剤および銅または銅合金表面の処理方法

発明者： タチアナ チュキッチ ,  ニール ウッド ,  トーマス ヒュルスマン
出願人/特許権者： アトテツク・ドイチユラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (5件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  森田 拓 ,  前川 純一 ,  二宮 浩康 ,  上島 類
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-520618
公開番号（公開出願番号）：特表2018-538434
出願日： 2016年10月20日
公開日（公表日）： 2018年12月27日
要約：

酸と、過酸化水素、金属過酸化物、金属超酸化物およびそれらの混合物からなる群から選択される酸化剤と、少なくとも1つの塩化物イオン源と、少なくとも1つの臭化物イオン源とを含む、銅および銅合金表面用の表面処理溶液。前記表面処理溶液は、プリント回路板、IC基板および他の電子機器の製造において特に有用である。

請求項（抜粋）：

酸、アゾール腐食防止剤、銅を酸化するために適した酸化剤、少なくとも1つの塩化物イオン源、および少なくとも1つの臭化物イオン源を含む銅および銅合金表面用の表面処理溶液であって、前記銅を酸化するために適した酸化剤が、過酸化水素、金属過酸化物、金属超酸化物およびそれらの混合物からなる群から選択されることを特徴とする、前記溶液。

IPC (4件)：

C23F 1/18 ,  C23F 1/00 ,  H01L 21/308 ,  H05K 3/38

FI (5件)：

C23F1/18 ,  C23F1/00 104 ,  H01L21/308 F ,  H01L21/308 G ,  H05K3/38 B

Fターム (32件)：

4K057WA01 ,  4K057WA05 ,  4K057WA07 ,  4K057WB04 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE04 ,  4K057WE08 ,  4K057WE09 ,  4K057WE25 ,  4K057WF06 ,  4K057WG01 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  4K057WK07 ,  4K057WK10 ,  4K057WN01 ,  5E343AA13 ,  5E343AA36 ,  5E343BB24 ,  5E343BB62 ,  5E343BB67 ,  5E343CC34 ,  5E343CC36 ,  5E343CC38 ,  5E343EE06 ,  5E343EE53 ,  5E343FF07 ,  5E343GG04 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043BB27

引用特許：

審査官引用 (2件)

• エッチング液および銅表面の粗化処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-096194   出願人：株式会社荏原電産
• 多層プリント配線板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-243542   出願人：東芝ケミカル株式会社