特許

J-GLOBAL ID：201903019535872657

表面性状解析方法、表面性状比較評価方法、及び表面形状測定システム

発明者： 吉田 一朗
出願人/特許権者： 学校法人法政大学 ,  株式会社小坂研究所
代理人 (2件)： 伊藤 茂 ,  海老 裕介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-095328
公開番号（公開出願番号）：特開2019-200155
出願日： 2018年05月17日
公開日（公表日）： 2019年11月21日
要約：

【課題】従来の双曲線の当てはめ手法のような煩雑な前処理や難解なアルゴリズムの実装を必要としない表面性状の解析方法を提供する。【解決手段】当該表面性状解析方法は次の手順により行なわれる。まず、測定表面の表面形状プロファイルの負荷曲線データに対してラドン変換を行なう。次にラドン変換によって得られた投影像データのr-θ平面におけるデータ集中点を特定する。特定したデータ集中点の位置から、負荷曲線データ上の直線的特徴領域に当てはまる直線のパラメータを演算する。求めた直線のパラメータの傾きから直線的特徴領域の粗さパラメータを演算する。測定表面がプラトー構造表面で有る場合には、上記手順によりプラトー領域と谷領域の粗さパラメータをそれぞれ分離して求める。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

測定表面の表面形状プロファイルの負荷曲線データに対してラドン変換を行うステップと、 該ラドン変換によって得られる投影像データのr-θ平面におけるデータ集中点を特定するステップと、 を含む、表面性状解析方法。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  G01B 5/28

FI (2件)：

G01B21/30 102 ,  G01B5/28 102

Fターム (36件)：

2F062AA61 ,  2F062AA62 ,  2F062AA66 ,  2F062BC48 ,  2F062BC56 ,  2F062CC22 ,  2F062CC26 ,  2F062CC27 ,  2F062DD35 ,  2F062EE01 ,  2F062EE09 ,  2F062GG71 ,  2F062JJ01 ,  2F062JJ03 ,  2F062JJ06 ,  2F062JJ07 ,  2F062JJ09 ,  2F069AA57 ,  2F069AA62 ,  2F069AA66 ,  2F069BB01 ,  2F069BB05 ,  2F069DD15 ,  2F069DD19 ,  2F069DD20 ,  2F069DD27 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069NN05 ,  2F069NN15 ,  2F069NN16 ,  2F069NN17 ,  2F069NN25 ,  2F069NN26 ,  2F069QQ05