特許
J-GLOBAL ID：201903019934415219

感放射線性樹脂組成物およびその用途

発明者：
成子 朗人

成子 朗人 について

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浅岡 高英

浅岡 高英 について

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松本 晃幸

松本 晃幸 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人SSINPAT
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-145141
公開番号（公開出願番号）：特開2019-066828
出願日： 2018年08月01日
公開日（公表日）： 2019年04月25日
要約：
【課題】放射線感度および保存安定性に優れており、解像度が高く金属配線に対する腐食性が低いパターン化された膜を得ることのできる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】同一のまたは異なる重合体中に、芳香環と当該芳香環に直接結合したアルコキシシリル基とを含む構造単位(I)、および酸性基を含む構造単位(II)を有する重合体成分(A)と、感放射線性化合物(B)と、有機溶媒(D)と、水(E)とを含有し、前記水(E)の含有量が10wtppm以上800wtppm以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
同一のまたは異なる重合体中に、芳香環と当該芳香環に直接結合したアルコキシシリル基とを含む構造単位(I)、および酸性基を含む構造単位(II)を有する重合体成分(A)と、 感放射線性化合物(B)と、 有機溶媒(D)と、 水(E)とを含有し、 前記水(E)の含有量が10wtppm以上800wtppm以下である ことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/075 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/20 ,  C08F 212/14 ,  C08F 220/32 ,  C08F 220/12
FI (8件)：
G03F7/075 511 ,  G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/20 521 ,  C08F212/14 ,  C08F220/32 ,  C08F220/12
Fターム (62件)：
2H197CA05 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  2H197JA22 ,  2H225AE13P ,  2H225AE18P ,  2H225AF04P ,  2H225AF05P ,  2H225AF82P ,  2H225AF83P ,  2H225AF99P ,  2H225AG00P ,  2H225AM12P ,  2H225AM22P ,  2H225AM23P ,  2H225AM32P ,  2H225AM45P ,  2H225AN33P ,  2H225AN36P ,  2H225AN39P ,  2H225AP01P ,  2H225BA01P ,  2H225BA05P ,  2H225CA12 ,  2H225CB05 ,  2H225CB06 ,  2H225CC01 ,  2H225CC03 ,  2H225CC17 ,  2H225CC21 ,  4J100AB00P ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL03S ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL10R ,  4J100AM43Q ,  4J100AM48S ,  4J100BA02R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA77P ,  4J100BA77S ,  4J100BA78P ,  4J100BB18Q ,  4J100BC43P ,  4J100BC53R ,  4J100BC54R ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100FA28 ,  4J100JA37
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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