計測装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人太陽国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-183781
公開番号（公開出願番号）：特開2018-048875
特許番号：特許第6570497号
出願日： 2016年09月21日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】凸部の形態を計測する計測部と、前記凸部が配置される開口と、該開口を中央に有し、前記凸部の周辺が押し当てられる固定部材とを有する位置固定部とを備え、前記固定部材に対して前記開口の大きさを変更する絞り機構が設けられ、前記絞り機構により前記位置固定部の開口の大きさが変更可能に構成されている計測装置。

IPC (1件)：