特許
J-GLOBAL ID：201903020690929914
窒化アルミニウム質焼結体、および半導体保持装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018020519
公開番号（公開出願番号）：WO2018-221504
出願日： 2018年05月29日
公開日（公表日）： 2018年12月06日
要約：
窒化アルミニウム質焼結体1は、Mgを含む窒化アルミニウムの結晶粒子2と、ガーネット型の結晶構造を有し、希土類元素とAlとを含む複合酸化物と、MgとAlとを含む複合酸窒化物と、を含む。窒化アルミニウムの結晶粒子2間には、複合酸化物の粒子3および複合酸窒化物の粒子4が点在している。複合酸化物はYを含んでもよい。窒化アルミニウムの結晶粒子2は、含有する全金属元素を100mol%としたとき、Mgの含有量が0.1mol%以上1.0mol%以下であってもよい。半導体保持装置は、この窒化アルミニウム質焼結体1と静電吸着用電極13とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
Mgを含む窒化アルミニウムの結晶粒子と、
ガーネット型の結晶構造を有し、希土類元素とAlとを含む複合酸化物と、
MgとAlとを含む複合酸窒化物と、を含み、
前記窒化アルミニウムの結晶粒子間に、粒子状の前記複合酸化物および前記複合酸窒化物が点在している、窒化アルミニウム質焼結体。
IPC (2件)：
C04B 35/581
, H01L 21/683
5F131AA02
, 5F131BA01
, 5F131BA19
, 5F131BA37
, 5F131CA02
, 5F131CA04
, 5F131EB11
, 5F131EB15
, 5F131EB18
, 5F131EB26
, 5F131EB78
, 5F131EB79
