特許

J-GLOBAL ID：201903020706157658

外観検査装置及び製品製造システム

発明者： 恩田 衛 ,  齊藤 俊樹 ,  大山 正敬 ,  筒井 正治
出願人/特許権者： 日本電産コパル株式会社
代理人 (1件)： 森 友宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-169348
公開番号（公開出願番号）：特開2019-045330
出願日： 2017年09月04日
公開日（公表日）： 2019年03月22日
要約：

【課題】検査対象物の表面の傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができる外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置3は、検査対象物10を支持する支持ステージ20と、支持ステージ20上の検査対象物10に検査光Lを照射する光源40と、光源40からの検査光Lが照射された検査対象物10の外観を撮像する撮像ユニット30と、光源40が取り付けられた多関節ロボット50とを備える。多関節ロボット50は、光源40と撮像ユニット30との間の相対的位置関係を変化させつつ、光源40を検査対象物10に対して移動させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

検査対象物の外観を検査するための外観検査装置であって、 前記検査対象物を支持する支持ステージと、 前記支持ステージ上の前記検査対象物に検査光を照射する光源と、 前記光源からの前記検査光が照射された前記検査対象物の外観を撮像する撮像ユニットと、 前記光源が取り付けられた多関節ロボットであって、前記光源と前記撮像ユニットとの間の相対的位置関係を変化させつつ、前記光源を前記検査対象物に対して移動させる多関節ロボットと を備える、外観検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/85 ,  G01N 21/84

FI (2件)：

G01N21/85 Z ,  G01N21/84 E

Fターム (11件)：

2G051AA01 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051AC19 ,  2G051BC10 ,  2G051CA04 ,  2G051DA03 ,  2G051DA05 ,  2G051DA06 ,  2G051GD01 ,  2G051GD05