特許

J-GLOBAL ID：201903020710816801

容量性微小電気機械加速度計

発明者： マッティ・リウック ,  ヴィッレ-ペッカ・リュトゥコネン
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (2件)： 吉川 修一 ,  傍島 正朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-080016
公開番号（公開出願番号）：特開2019-023613
出願日： 2018年04月18日
公開日（公表日）： 2019年02月14日
要約：

【課題】機械的衝撃や外部応力に対して強い構造をもつ容量性微小機械加速度計を提供する。【解決手段】ローターバー13、14、15で構成されるロータは、ロータ回転軸RRAの第1の側に一以上の第1の制動板101、102と、ロータ回転軸RRAの第2の側に一以上の第1の制動板103、104と、を含む。一以上の第2の制動板は、一以上の第1の制動板101〜104の少なくとも一部の上方または下方の内部パッケージ平面に固定され、第1の制動板101〜104がロータ回転軸RRAの各側にある第2の制動板の投影と重なる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

横方向および縦方向に延在し、前記横方向が前記縦方向に垂直である基板平面を画定する基板と、 前記基板平面に垂直な垂直軸方向の加速度を測定するための第1のセンサと、 前記基板平面の上方および/または下方の前記基板平面に隣接し、かつ、前記基板平面に平行な内部パッケージ平面を有する加速度計パッケージと、 を備え、 前記第1のセンサは、前記基板に対して可動なロータと、ロータ吊具と、前記基板に対して不動の一以上のステータと、を含み、 前記ロータは、差動容量測定のための一以上のロータ電極を含み、前記一以上のステータは、差動容量測定のための一以上のステータ電極を含み、 前記吊具は、一以上の固定されたロータ吊具バーと、横方向のロータ回転軸に配置された第1の横方向のねじりバネおよび第2の横方向のねじりバネと、を含み、 前記第1の横方向ねじりバネおよび前記第2の横方向ねじりバネは、前記ロータに取り付けられている、容量性微小機械加速計であって、 前記ロータは、少なくとも、横方向ロータバーと、前記横方向ロータバーに取り付けられた第1の縦方向ロータバーと、前記横方向ロータバーに取り付けられた第2の縦方向ロータバーと、を含む両面シーソーフレームであり、 前記縦方向ロータバーのそれぞれは、前記横方向のロータ回転軸の第1の側から前記横方向のロータ回転軸の第2の側まで延在し、 前記縦方向ロータバーのそれぞれは、前記横方向のロータ回転軸の前記第1の側にある一以上の第1の制動板と、前記横方向のロータ回転軸の前記第2の側にある一以上の第1の制動板と、を含み、 少なくとも1つの前記第1の制動板が、前記横方向のロータ回転軸の前記第1の側にある第1の重複領域において前記基板平面への前記第2の制動板の投影と重なり、かつ、少なくとも1つの前記第1の制動板が、前記横方向のロータ回転軸の前記第2の側にある第2の重複領域において前記基板平面への前記第2制動板の投影と重なるように、一以上の第2制動板は、前記一以上の第1の制動板の少なくとも一部の上方および/または下方の前記内部パッケージ平面に固定される、 容量性微小機械加速度計。

IPC (3件)：

G01P 15/08 ,  G01P 15/125 ,  G01P 15/18

FI (4件)：

G01P15/08 102E ,  G01P15/08 101B ,  G01P15/125 Z ,  G01P15/18

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 容量型マイクロメカニカル加速度センサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2016-522937   出願人：株式会社村田製作所
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-025572   出願人：三菱電機株式会社
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-235400   出願人：三菱電機株式会社
• 三軸加速度計
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2008-520454   出願人：キオニクス,インコーポレイテッド

審査官引用 (1件)

• 容量型マイクロメカニカル加速度センサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2016-522937   出願人：株式会社村田製作所