特許

J-GLOBAL ID：201903020758585712

拡張装置

発明者： 服部 篤 ,  植木 篤 ,  武藤 栄
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-074261
公開番号（公開出願番号）：特開2017-188498
特許番号：特許第6618412号
出願日： 2016年04月01日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 環状のフレームの開口部を覆って装着されウエーハが貼着される熱収縮性及びエキスパンド性を有する粘着テープを拡張する拡張装置であって、 該フレームを保持するフレーム保持手段と、 該フレーム保持手段に保持された該フレームに装着された粘着テープの該ウエーハが貼着されているウエーハ保持領域を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、 該保持面と直交する軸方向に該フレーム保持手段と該保持テーブルとを基準位置と該保持面が該フレーム保持手段から突出した拡張位置との間で相対的に移動させる進退手段と、 該進退手段によって該ウエーハ保持領域と該フレームとの間で拡張した該粘着テープを収縮させる加熱手段と、を備え、 該保持テーブルは、該保持面の外周に、該ウエーハ保持領域と該フレームとの間の該粘着テープに作用する拡張補助ローラを有し、 該拡張補助ローラは、該保持面の径方向に拡張する際の該粘着テープの移動方向に倣う向きにのみ回転するワンウェイローラであることを特徴とする拡張装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  B23K 26/53 ( 201 4.01)

FI (4件)：

H01L 21/78 W ,  H01L 21/78 X ,  H01L 21/68 N ,  B23K 26/53