特許
J-GLOBAL ID:201903020876767787
ウェーハの加工方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
松本 昂
, 岡本 知広
, 笠原 崇廣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-092810
公開番号(公開出願番号):特開2019-201024
出願日: 2018年05月14日
公開日(公表日): 2019年11月21日
要約:
【課題】品質を低下させることなくデバイスチップを形成する。【解決手段】複数のデバイスが表面に形成されたウェーハを個々のデバイスチップに分割するウェーハの加工方法であって、ウェーハの裏面にポリオレフィン系シートを配設するポリオレフィン系シート配設工程と、該ポリオレフィン系シートを加熱し押圧して該ウェーハと、該ポリオレフィン系シートと、を一体化させる一体化工程と、開口部を有し複数の磁石を備える第1のフレームと、開口部を有する第2のフレームと、で構成されるフレームを使用して、磁力により該第1のフレームと、該第2のフレームと、の間にポリオレフィン系シートの外周部を挟持してポリオレフィン系シートを該フレームで支持するフレーム支持工程と、切削装置を用いて該ウェーハを切削して該ウェーハを個々のデバイスチップに分割する分割工程と、個々のデバイスチップをピックアップするピックアップ工程と、を備える。【選択図】図4
請求項(抜粋):
複数のデバイスが、分割予定ラインによって区画された表面の各領域に形成されたウェーハを個々のデバイスチップに分割するウェーハの加工方法であって、
ウェーハの裏面にポリオレフィン系シートを配設するポリオレフィン系シート配設工程と、
該ポリオレフィン系シートを加熱し押圧して該ウェーハと、該ポリオレフィン系シートと、を一体化させる一体化工程と、
該一体化工程の前または後に、ウェーハを収容できる大きさの開口部を有し複数の磁石を備える第1のフレームと、ウェーハを収容できる大きさの開口部を有する第2のフレームと、で構成されるフレームを使用して、該磁石により生じる磁力により該第1のフレームと、該第2のフレームと、の間にポリオレフィン系シートの外周部を挟持してポリオレフィン系シートを該フレームで支持するフレーム支持工程と、
切削ブレードを回転可能に備えた切削装置を用いて該ウェーハを分割予定ラインに沿って切削して該ウェーハを個々のデバイスチップに分割する分割工程と、
該ポリオレフィン系シートから個々のデバイスチップをピックアップするピックアップ工程と、
を備えることを特徴とするウェーハの加工方法。
IPC (4件):
H01L 21/301
, H01L 21/67
, H01L 21/683
, B24B 27/06
FI (7件):
H01L21/78 M
, H01L21/78 A
, H01L21/78 Y
, H01L21/78 W
, H01L21/68 E
, H01L21/68 N
, B24B27/06 J
Fターム (72件):
3C158AA03
, 3C158AB03
, 3C158AB04
, 3C158CB10
, 3C158DA17
, 5F063AA04
, 5F063AA15
, 5F063BA33
, 5F063BA43
, 5F063BA45
, 5F063BA47
, 5F063BA48
, 5F063CA01
, 5F063CA04
, 5F063DD02
, 5F063DD69
, 5F063DD75
, 5F063DD87
, 5F063DG27
, 5F063DG32
, 5F063EE07
, 5F063EE09
, 5F063EE34
, 5F063FF01
, 5F063FF05
, 5F063FF22
, 5F063FF34
, 5F063FF35
, 5F131AA02
, 5F131AA03
, 5F131AA21
, 5F131AA22
, 5F131BA37
, 5F131BA52
, 5F131BA53
, 5F131CA09
, 5F131CA12
, 5F131DA13
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DB22
, 5F131DB62
, 5F131EA05
, 5F131EA06
, 5F131EA07
, 5F131EA22
, 5F131EA23
, 5F131EA24
, 5F131EB01
, 5F131EB03
, 5F131EB31
, 5F131EB32
, 5F131EB33
, 5F131EB36
, 5F131EB55
, 5F131EB81
, 5F131EB89
, 5F131EC33
, 5F131EC44
, 5F131EC53
, 5F131EC62
, 5F131EC63
, 5F131EC64
, 5F131EC72
, 5F131EC73
, 5F131EC74
, 5F131EC75
, 5F131FA17
, 5F131FA33
, 5F131JA14
, 5F131JA20
, 5F131JA40
引用特許:
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