特許
J-GLOBAL ID：201903020983356218
画像測定器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大槻 聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-021709
公開番号（公開出願番号）：特開2018-081115
特許番号：特許第6522181号
出願日： 2018年02月09日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークを載置するためのステージと、
上記ステージ上のワークに拡散光を照射する拡散照明装置と、
上記拡散照明装置の上記拡散光が照射された上記ステージ上のワークを撮影し、ワーク画像を生成するカメラと、
上記拡散光を照射して上記カメラにて撮影されたワーク画像を表示する表示手段と、
上記表示手段に表示された上記ワーク画像上で、測定対象箇所を指定する測定対象箇所指定手段と、
平行光からなる照明光又は平行光に近い拡がり角からなる照明光を、上記ステージ上のワークに側方から照射する側射照明装置と、
上記ステージ又は上記側射照明装置を上記カメラの撮影軸方向に移動させることにより、上記ステージに対する上記側射照明装置の相対位置を調整する相対位置調整手段と、
上記相対位置調整手段により上記ステージと上記側射照明装置の相対位置を異ならせて上記側射照明装置により照明されたワークを撮影して得られた2以上のワーク画像のそれぞれから、上記測定対象箇所内のエッジ抽出のし易さを示す複数の評価値を算出し、算出した複数の評価値に基づいて、上記測定対象箇所に対応づける相対位置を特定する相対位置特定手段と、
上記測定対象箇所を、上記相対位置特定手段により特定された相対位置に関連づけて保持する測定箇所情報記憶手段と、
上記測定箇所情報記憶手段に保持された測定対象箇所に対応する相対位置に上記側射照明装置を上記ステージに対して相対的に移動させるように上記相対位置調整手段を制御し、上記側射照明装置を駆動して上記ワーク画像を取得する撮像制御手段と、
上記撮像制御手段により取得されたワーク画像に基づいて上記測定対象箇所から抽出されたエッジに基づいて、上記測定対象箇所に係る寸法を求める寸法測定手段とを備えたことを特徴とする画像測定器。
IPC (2件)：
G01B 11/02 ( 200 6.01)
, G06T 7/13 ( 201 7.01)
