センサ装置及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：戸田裕二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-254661
公開番号（公開出願番号）：特開2018-105800
特許番号：特許第6602744号
出願日： 2016年12月28日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被計測流体の一部を取り込む副通路と、前記副通路に配置されるセンサ素子と、前記センサ素子が実装される基板と、前記基板を保持するハウジングと、を備え、前記ハウジングは、前記副通路の壁面の一部を形成しつつ、前記基板を保持する固定部を有し、前記基板は前記固定部に沿った方向に形成される溝部を有しており、前記溝部は、その底部が、前記基板が前記固定部で保持される領域と前記固定部に接しない領域を有するように形成されているセンサ装置。

IPC (2件)：